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公开(公告)号：CN118777357A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410401045.3
申请日：2024-04-03
申请人： FEI 公司
发明人： W·R·J·范登布鲁克
IPC分类号： G01N23/2273 , G01N23/2202 , G01T1/36 , G01T7/00
摘要： 带电粒子显微镜中电子能量损失谱的增强。描述了用于处理电子能量损失谱(EELS)数据的系统和技术。用于处理EELS数据的方法可以包括接收谱数据。谱数据可以被构造为与材料样本的空间区域相关联的EELS谱的阵列。该方法可以包括使用谱数据生成参考谱。该方法可以包括使用参考谱和谱数据生成样本谱。样本谱可以包括加权平均谱。该方法还可以包括输出样本谱。
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公开(公告)号：CN113495078B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202110372501.2
申请日：2021-04-07
申请人： FEI 公司
IPC分类号： G01N23/044
摘要： 样品保持件保持样品，并且当所述样品曝光于带电粒子束（CPB）或其它辐射源时，所述样品保持件可使所述样品在单一方向上连续地旋转。典型地，选通所述CPB，以产生随机或任意旋转角度处的一系列CPB图像。所述样品保持件可旋转超过所述样品的一个完整转动。所述CPB图像用于断层摄影重构，并且在一些情况下，相对旋转角度用于所述重构，而无需输入绝对旋转角度。
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公开(公告)号：CN110389138B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201910315600.X
申请日：2019-04-18
申请人： FEI 公司
IPC分类号： G01N23/046
摘要： 使用Alvarez‑Macovski衰减模型在断层摄影重建中进行X射线束硬化校正。本文所公开的方法和设备使用对Alvarez‑Macovski衰减模型的简化为断层摄影重建提供射束硬化校正。实例方法包括简化前向投影模型，所述前向投影模型基于Alvarez‑Macovski(AM)衰减模型，其中所述简化所述前向投影模型针对仅光电效应、恒定密度、恒定原子序数和密度与原子序数成比例中的一种简化了所述AM衰减模型；以及使用所述简化的前向投影模型执行样品的迭代重建，所述迭代重建通过第一光谱加权，其中在第一能量下获得在所述迭代重建中使用的所述样品的测量图像数据，并且其中所述迭代重建的反向操作非伴随于所述简化前向投影模型。
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公开(公告)号：CN118018868A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202311486811.2
申请日：2023-11-09
申请人： FEI 公司
发明人： G·C·范霍夫滕
摘要： 本文公开了像素元件和相关联的方法。像素元件可包括被配置为生成电荷的辐射敏感元件、浮动扩散节点、电荷存储装置和被配置为生成电荷信号的输出级。该像素元件被配置为在高增益模式和低增益模式下操作并且可具有为至少100,000:1的总动态范围。一种操作像素元件的方法可包括在该像素元件处于高增益模式的情况下读出高增益电荷信号并且在该像素元件处于低增益模式的情况下读出低增益电荷信号。该读出该低增益电荷信号包括配置该像素元件的低增益信道电荷容量使得该低增益信道电荷容量与高增益信道电荷容量的比率为至少30:1。
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公开(公告)号：CN118011048A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202311486055.3
申请日：2023-11-08
申请人： FEI 公司
摘要： 本发明涉及一种用于制备低温样品的方法和设备，由此使用冷冻剂对样品进行快速冷却。该方法包括提供样品的步骤，该样品包括在大体上平面的样本载体上提供的样本。该方法包括提供用于将低温流体输送到该样品的至少一个流动装置的步骤，其中该流动装置包括用于将低温流体流引导到该样品上的第一喷嘴。然后，将样品定位在该第一喷嘴旁边，并且提供流出该第一喷嘴的低温流体流，使得样品被低温冷却。如本文所限定，第一喷嘴的喷嘴口具有在第一方向上测量的宽度和在基本上垂直于该第一方向的第二方向上测量的高度，其中该宽度大于该高度。使用诸如实质上椭圆形或矩形的非圆形的喷嘴口提供了更加改进的冷却，使得样本载体的所有部分被均匀地冷却。
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公开(公告)号：CN109979793B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811586279.0
申请日：2018-12-24
申请人： FEI 公司
摘要： 复合型SEM‑CL和FIB‑IOE显微术。本文公开了使用复合扫描电子显微镜‑阴极发光(SEM‑CL)显微术和聚焦离子束‑离子诱导光学发射(FIB‑IOE)显微术的显微镜系统进行显微术的示例性实施例。某些实施例包含：以第一显微术模式操作显微术系统，其中电子束在样本位置处与样本相互作用并且引起第一模式光子和电子发射，所述第一模式光子包括通过阴极发光过程产生的光子；以及，以第二显微术模式操作显微术系统，其中离子束与在所述样本位置处的样本相互作用并且引起第二模式光子发射，所述第二模式光子包括通过离子诱导发光过程产生的光子以及通过原子去激发过程产生的光子。
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公开(公告)号：CN116973396A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310636881.5
申请日：2023-04-28
申请人： FEI 公司
IPC分类号： G01N23/2251 , G06T11/00 , H01J37/28
摘要： 一种根据本公开的处理图像数据的计算机实施的方法包括：接收该图像数据，其中该图像数据是表示在第一焦点深度处获得的扫描透射带电粒子显微镜(STCPM)扫描的STCPM图像数据；以及处理将该图像数据表示为来自样品在多个焦点深度处的多个切片的贡献的总和的方程组，其中该方程组的每个方程使该图像数据的至少一部分与以下各项相关：该STCPM的多个衬度传递函数中的至少一个衬度传递函数，该STCPM的每个衬度传递函数在不同相应焦点深度处被确定；以及该STCPM的至少一个未知对象集合，集合中的每个未知对象处于不同相应焦点深度处。处理步骤包括求解该方程组以获得该STCPM的多个未知对象中的至少一个未知对象。
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