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公开(公告)号:CN104374633A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201410396562.2
申请日:2014-08-13
申请人: FEI公司
发明人: C.塞诺维茨
IPC分类号: G01N1/44
CPC分类号: C23C14/30 , G01N1/32 , H01J37/3056 , H01J2237/208 , H01J2237/304 , H01J2237/31745
摘要: 一种改进的制备TEM样本的方法。从工件提取样本,并且样本附着到探针以运送到样本支架。样本使用带电粒子束沉积而被附着到样本支架,并且通过在不使用带电粒子束切断该连接的情况下使探针和样本支架相对于彼此移动而被以机械方式与探针分离。