公开(公告)号：CN1959416B

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200610143243.6

申请日：2006-11-01

申请人： FEI公司

发明人： H·G·塔佩尔 ,  I·J·B·希斯范 ,  D·兰克斯 ,  G·N·A·维恩范 ,  R·杨 ,  L·A·吉安努兹

IPC分类号： G01N35/00 ,  G01N13/00 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01L21/68 ,  G01R31/2898 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20242 ,  H01L21/68764

摘要： 一种粒子光学设备，包括：第一源，用来沿第一轴线产生第一照射束；第二源，用来沿第二轴线产生第二照射束，第二轴线在束交叉点与第一轴线相交，第一和第二轴线确定一个束平面。工作台组件，它将样品安置在束交叉点附近，此组件包括：可安装样品的样品台；一组致动器，它实现样品台沿以下方向的平动：基本平行于垂直束平面的X-轴线，平行于束平面的Y-轴线，和平行于束平面的Z-轴线，X-轴线，Y-轴线和Z-轴线相互垂直且通过该束交叉点。其特征是这组致动器安装成可实现：样品台围绕基本平行于Z-轴线的旋转轴线旋转，和样品台围绕基本垂直于Z-轴线的翻转轴线旋转，其中翻转轴线本身可以绕旋转轴线旋转。

公开(公告)号：CN1959416A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610143243.6

申请日：2006-11-01

申请人： FEI公司

发明人： H·G·塔佩尔 ,  I·J·B·希斯范 ,  D·兰克斯 ,  G·N·A·维恩范 ,  R·杨 ,  L·A·吉安努兹

IPC分类号： G01N35/00 ,  G01N13/00 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01L21/68 ,  G01R31/2898 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20242 ,  H01L21/68764

摘要： 一种粒子光学设备，包括：第一源，用来沿第一轴线(A1)产生第一照射束(E)；第二源，用来沿第二轴线(A2)产生第二照射束(I)，第二轴线在束交叉点与第一轴线相交，第一和第二轴线(A1，A2)确定一个束平面。工作台组件(3)，它将样品安置在束交叉点(c)附近，此组件包括：可安装样品的样品台(21)；一组致动器，它实现样品台(21)沿以下方向的平动：基本平行于垂直束平面的X－轴线，平行于束平面的Y－轴线，和平行于束平面的Z－轴线，此X－轴线，Y－轴线和Z－轴线相互垂直且通过该束交叉点(c)。其特征是这组致动器安装成可实现：样品台(21)围绕基本平行于Z－轴线的旋转轴线(RA)旋转，和样品台(21)围绕基本垂直于Z－轴线的翻转轴线(FA)旋转，其中翻转轴线(FA)本身可以绕旋转轴线(RA)旋转。