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    基板处理装置
    3.
    发明授权
    基板处理装置 有权

    公开(公告)号：CN102315143B

    公开(公告)日：2014-04-09

    申请号：CN201110189199.3

    申请日：2011-06-30

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 小田桐正弥 ,  村木雄介 ,  富士原仁

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/68

    CPC分类号： H01L21/67248 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/463 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/32779 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/201 ,  H01L21/68771

    摘要： 本发明提供一种基板处理装置，可以分别独立且精密地进行基板的周缘部和中心部的温度管理、温度控制，且配管构成简化。本发明提供一种基板处理装置，在真空处理空间中处理基板，且包含承载至少两片以上的基板的基板承载台，所述基板承载台是由数量与承载的基板数量对应的基板承载部构成，在所述基板承载部，相互独立地形成有使承载的基板中央部冷却的中央调温通道和使基板周缘部冷却的周缘调温通道，在所述基板承载台上设置有一个使调温介质导入到所述周缘调温通道的调温介质导入口，且设置数量与承载的基板数量对应的使调温介质从所述周缘调温通道中排出的调温介质排出口。

    用于带电粒子显微术的样本的制备
    8.
    发明公开
    用于带电粒子显微术的样本的制备 有权

    公开(公告)号：CN105914122A

    公开(公告)日：2016-08-31

    申请号：CN201610103111.4

    申请日：2016-02-25

    申请人： FEI公司

    发明人： H-W.雷米格伊

    IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28

    CPC分类号： G01N1/2813 ,  G01N1/42 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208 ,  H01J37/28

    摘要： 一种制备用于在带电粒子显微镜中进行研究的样本的方法，包括如下步骤：?提供具有基本上彼此平行的相反面的基本上平坦的样本保持器，该样本保持器包括至少一个孔径，该至少一个孔径连接所述面并且已经跨该至少一个孔径安装了膜片，该膜片包括至少一个穿孔；?使含水液体的薄膜跨越在所述穿孔上，该液体包括悬浮在其中的至少一个研究样品，尤其包括下述步骤：?在所述跨越步骤之前，在远离所述样本保持器的一侧处，放置吸水材料的吸水薄片以紧密接触所述膜片的第一表面；?通过所述孔径沉积所述含水液体并且将所述含水液体沉积到所述膜片的第二表面上，所述第二表面与所述第一表面相反；?随后从所述膜片去除所述吸水薄片。

    用于电子显微镜的样品载体
    9.
    发明授权
    用于电子显微镜的样品载体 有权

    公开(公告)号：CN103928279B

    公开(公告)日：2016-04-06

    申请号：CN201410016917.0

    申请日：2014-01-15

    申请人： FEI公司

    发明人： F.内德洛夫

    IPC分类号： H01J37/20 ,  G01N1/44

    CPC分类号： H01J37/20 ,  G01N23/2204 ,  G01N23/2251 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/26

    摘要： 本发明公开了用于电子显微镜的样品载体。本发明涉及用于透射电子显微镜的样品载体（10）。当使用现有技术样品载体时，比如与检测器检测例如以大发射角发射的X射线相组合的半月形格子时，遮蔽是个问题。当执行其中样品在大角度内旋转的断层摄影时出现类似问题。本发明通过将毗连样品与格子之间的接口的格子部分（16）形成为锥形部分来提供针对遮蔽的技术方案。