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公开(公告)号：CN106057620A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610233229.9
申请日：2016-04-15
Applicant: FEI公司
Abstract: 本发明涉及在带电粒子显微镜中执行层析成像的方法。一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中执行样品的表面下成像的方法，包括以下步骤：提供从源沿着粒子光轴指引通过照明器从而照射样品的一束带电粒子；提供用于检测穿过样品的带电粒子的通量的检测器；促使所述射束遵循跨所述样品的表面的扫描路径，并根据扫描位置来记录所述检测器的输出，从而获取样品的扫描带电粒子图像I；通过选择可变射束参数P的值Pn并获取关联扫描图像In来针对整数序列的不同成员n重复此程序，从而编译测量结果集合M = {(In, Pn)}；使用计算机处理装置来自动地对测量结果集合M进行去卷积并将测量结果集合M空间分辨成表示样品的深度分辨图像的结果集合。
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