公开(公告)号：CN104865276A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510087134.6

申请日：2015-02-25

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：-提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；-提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；-使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：-把检测器体现为包括多个检测分段；-组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；-通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。

公开(公告)号：CN106057620A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610233229.9

申请日：2016-04-15

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉兹 ,  E.G.T.博斯

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及在带电粒子显微镜中执行层析成像的方法。一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中执行样品的表面下成像的方法，包括以下步骤：提供从源沿着粒子光轴指引通过照明器从而照射样品的一束带电粒子；提供用于检测穿过样品的带电粒子的通量的检测器；促使所述射束遵循跨所述样品的表面的扫描路径，并根据扫描位置来记录所述检测器的输出，从而获取样品的扫描带电粒子图像I；通过选择可变射束参数P的值Pn并获取关联扫描图像In来针对整数序列的不同成员n重复此程序，从而编译测量结果集合M = {(In, Pn)}；使用计算机处理装置来自动地对测量结果集合M进行去卷积并将测量结果集合M空间分辨成表示样品的深度分辨图像的结果集合。

公开(公告)号：CN104733271A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201410785676.6

申请日：2014-12-18

Applicant: FEI公司

Inventor： B.J.詹斯森 ,  I.拉兹 ,  G.范杜恩恩 ,  U.鲁伊肯 ,  R.D.萨瓦格 ,  S.H.L.范登布姆

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明公开了调查带电粒子射束的波阵面的方法。调查从源通过发光器被引导以便穿过样本平面并且降落到检测器上的带电粒子射束的波阵面的方法，检测器的输出与数学重建技术结合使用以便在沿着到检测器的波阵面路径的预先定义的位置处针对波阵面计算相位信息和振幅信息中的至少一个，在该方法中：-使所述射束穿过设置在所述样本平面和所述检测器之间的粒子光学透镜系统；-在从所述源到所述检测器的路径中的所选择位置处，调制器用于局部地产生波阵面的给定调制；-在一系列测量阶段中，采用不同的此类调制，并且在所述数学重建中共同地使用相关联的检测器输出。

公开(公告)号：CN104865276B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201510087134.6

申请日：2015-02-25

Applicant: FEI 公司

Inventor： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

IPC: G01N23/04

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：‑提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；‑提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；‑使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：‑把检测器体现为包括多个检测分段；‑组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；‑通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。