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发明公开
利用改良成像气体的电子束显微镜及使用方法有权

公开(公告)号：CN106169406A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610324843.6

申请日：2016-05-17

申请人： FEI公司

发明人： T.尚利 , J.斯科特 , M.托思

IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28

CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801 , H01J2237/2806

摘要： 本发明利用用改良的成像气体的气体放大提供带电粒子束成像和检测系统。系统包括用于引导带电荷粒子束到工件的带电粒子束源、用于带电粒子聚焦到工件上的聚焦透镜和用于加速通过带电粒子束或另一种气体级联检测方案从工件照射产生的二次电子的电极。气体成像在用于封闭包含CH3CH2OH(乙醇)蒸气的改良成像气体的高压扫描电子显微镜(HPSEM)室中进行。电极通过CH3CH2OH加速二次电子，以通过电离级联电离CH3CH2OH，增大用于检测的二次电子的数目。为使用改良成像气体提供最优结构，并提供技术进行有机液体和溶剂及其它基于CH3CH2OH的方法的成像研究。