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公开(公告)号：CN103940791A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410027787.0
申请日：2014-01-22
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G02B21/082 , G01N21/6458 , G02B21/16
Abstract: 本发明公开了用荧光显微镜观测样本的方法。本发明涉及用荧光显微镜检查TEM格栅（12）上的样本的部分的方法，如当执行关联显微镜检查时出现的，更具体地针对在有孔碳格栅上的样本。当使在其中具有样本材料（22）的玻璃化冰（20）成像时出现问题，因为冰被所使用的光加热。本发明基于如下认识：碳支撑膜（16）中的吸收尤其是造成加热的原因，因为冰几乎不吸收光。通过使荧光显微镜的照射局部化至在碳中的孔洞（18）上面的样本部分，对冰的加热得以减少。该局部化能够通过例如使光通过LCD型空间光调制器来实现。
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