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公开(公告)号：CN103681187B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201310385591.4
申请日：2013-08-30
Applicant: FEI公司 , 马克斯·普朗克索赔科学公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J31/283 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。
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公开(公告)号：CN104701122A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410726248.6
申请日：2014-12-04
Applicant: FEI公司 , 马克斯·普朗克索赔科学公司
IPC: H01J37/02
CPC classification number: C01B32/20 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/31 , H01J2237/3114 , H01J37/02
Abstract: 本发明涉及一种产生纳米结晶石墨的独立式薄膜的方法，该方法包括以下步骤：提供独立式非晶碳薄膜，在惰性气氛中或者在真空中将该独立式薄膜加热到高温；以及允许该独立式薄膜冷却；作为其结果，形成纳米结晶石墨的独立式薄膜。非晶碳的薄膜众所周知，并且被使用在例如在透射电子显微镜中的相位片中，或者作为样品载体（图5A）。缺点是膜暴露在电子束可以导致在膜中的电子改变，产生所谓脚印（504）。使用结晶石墨膜克服了该问题，但是通常以微米数量级的晶体的大小干扰高质量成像。因此，存在针对纳米结晶石墨碳膜的需要。本发明公开了如何制备这些膜，并且公开了这样的膜的某些用途。如在图5B中可见的那样，没有脚印出现。
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公开(公告)号：CN104865276A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510087134.6
申请日：2015-02-25
Applicant: FEI公司
IPC: G01N23/04
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2446 , H01J2237/24465 , H01J2237/2802
Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：-提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；-提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；-使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：-把检测器体现为包括多个检测分段；-组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；-通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。
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公开(公告)号：CN103681187A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310385591.4
申请日：2013-08-30
Applicant: FEI公司 , 马克斯·普朗克索赔科学公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J31/283 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。
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公开(公告)号：CN107917923B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201710881209.7
申请日：2017-09-26
Applicant: FEI 公司
IPC: G01N23/046
Abstract: 一种使用X射线层析摄影术研究样本的方法，包括：（a）将样本安装到样本保持器；（b）沿着通过样本的第一视线利用X射线射束辐照样本；（c）检测透射通过样本的X射线通量并且形成第一图像；（d）针对通过样本的不同视线的系列而重复步骤（b）和（c），由此产生对应图像系列；（e）在所述图像系列上执行数学重建，以便产生样本的至少一部分的层析图，其中：样本设置在具有相关联的柱形轴线的基本上柱形的金属外壳内；通过将带电粒子射束定向到所述金属外壳的分区上而产生所述X射线射束，以便在所述分区处产生受限X射线源；所述不同视线的系列通过围绕所述柱形轴线旋转所述外壳而实现，由此引起所述分区相对于样本的相对运动。
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公开(公告)号：CN103940791A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410027787.0
申请日：2014-01-22
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G02B21/082 , G01N21/6458 , G02B21/16
Abstract: 本发明公开了用荧光显微镜观测样本的方法。本发明涉及用荧光显微镜检查TEM格栅（12）上的样本的部分的方法，如当执行关联显微镜检查时出现的，更具体地针对在有孔碳格栅上的样本。当使在其中具有样本材料（22）的玻璃化冰（20）成像时出现问题，因为冰被所使用的光加热。本发明基于如下认识：碳支撑膜（16）中的吸收尤其是造成加热的原因，因为冰几乎不吸收光。通过使荧光显微镜的照射局部化至在碳中的孔洞（18）上面的样本部分，对冰的加热得以减少。该局部化能够通过例如使光通过LCD型空间光调制器来实现。
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公开(公告)号：CN104865276B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201510087134.6
申请日：2015-02-25
Applicant: FEI 公司
IPC: G01N23/04
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2446 , H01J2237/24465 , H01J2237/2802
Abstract: 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：‑提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；‑提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；‑使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：‑把检测器体现为包括多个检测分段；‑组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；‑通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。
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公开(公告)号：CN104810230A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510040069.1
申请日：2015-01-27
Applicant: FEI公司
Inventor： B.布伊斯塞
CPC classification number: H01J37/226 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/14 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/223 , H01J2237/2602
Abstract: 相关光学和带电粒子显微镜。本发明涉及装配有TEM柱和光显微镜（10）的相关光和电子显微镜（CLEM），所述光显微镜安装在TEM的物镜的极靴（8A、8B）之间。为了扩大针对增强的灵敏度的接受立体角而使用截短的透镜。应注意的是这并不意味着透镜示出像散（其并不是圆筒形透镜）。本发明还教导在样本（1）处于第一方向上的情况下使用光显微镜来制作第一图像。由于两个方向（312x，312y）上的透镜的不同NA，此图像将在一个方向上示出比在与之垂直的方向上更高的（衍射限制）分辨率。通过使样本旋转并制作第二图像，可以形成与在其中其示出低NA的方向上的图像中的任一个相比示出更好分辨率的组合图像。
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