公开(公告)号：CN104377101A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201410396973.1

申请日：2014-08-13

Applicant: FEI公司

Inventor： P.J.L.巴伦兹 ,  M.P.W.范登布加德 ,  P.布伦达奇

IPC: H01J9/02 ,  H01J49/08

CPC classification number: G01R1/06705 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24592 ,  H01J9/02 ,  H01J49/08

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的电路探头。探头组件可以与其在真空室内的电气线束连接和断开以使得安装有工件的探头组件可以在没有来自电缆的干扰的情况下被旋转和倾斜并且然后可以在不打开真空室的情况下被重新连接。而且描述了一种当探头组件与其电气线束断开时使样本和探头接地的装置以及一种通过确保探头在操作期间不会向上突出太远来防止对探头机构和探头自身的损坏的装置。

公开(公告)号：CN104377101B

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201410396973.1

申请日：2014-08-13

Applicant: FEI 公司

Inventor： P.J.L.巴伦兹 ,  M.P.W.范登布加德 ,  P.布伦达奇

IPC: H01J9/02 ,  H01J49/08

CPC classification number: G01R1/06705 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24592

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的电路探头。探头组件可以与其在真空室内的电气线束连接和断开以使得安装有工件的探头组件可以在没有来自电缆的干扰的情况下被旋转和倾斜并且然后可以在不打开真空室的情况下被重新连接。而且描述了一种当探头组件与其电气线束断开时使样本和探头接地的装置以及一种通过确保探头在操作期间不会向上突出太远来防止对探头机构和探头自身的损坏的装置。