公开(公告)号：CN100565189C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200510124700.2

申请日：2005-11-09

Applicant: FEI公司

Inventor： B·布伊斯塞 ,  R·F·M·亨德里克斯

IPC: G01N21/64 ,  G01N23/00 ,  G01N35/00

CPC classification number: G01N21/6458 ,  G01N21/6428 ,  G01N23/225 ,  G01N2021/6432 ,  H01J37/228 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2826 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/3174

Abstract: 本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此，用激励光束(11)照射试样(4)，同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时，标记被粒子束(3)碰撞，并被破坏，这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的，因此也就可以知道试样中标记的位置。

公开(公告)号：CN1789982A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510124700.2

申请日：2005-11-09

Applicant: FEI公司 ,  皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： B·布伊斯塞 ,  R·F·M·亨德里克斯

IPC: G01N21/64 ,  G01N23/00 ,  G01N35/00

CPC classification number: G01N21/6458 ,  G01N21/6428 ,  G01N23/225 ,  G01N2021/6432 ,  H01J37/228 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2826 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/3174

Abstract: 本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此，用激励光束(11)照射试样(4)，同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时，标记被粒子束(3)碰撞，并被破坏，这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的，因此也就可以知道试样中标记的位置。