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公开(公告)号：CN1789982A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510124700.2
申请日：2005-11-09
Applicant: FEI公司 , 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： B·布伊斯塞 , R·F·M·亨德里克斯
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/6428 , G01N23/225 , G01N2021/6432 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2826 , H01J2237/30438 , H01J2237/3174
Abstract: 本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此，用激励光束(11)照射试样(4)，同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时，标记被粒子束(3)碰撞，并被破坏，这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的，因此也就可以知道试样中标记的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1716512B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200510067028.8
申请日：2005-04-21
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞 , T·H·J·比斯乔普斯 , M·T·穆维塞
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/143
Abstract: 本发明描述了一种粒子-光学装置，该装置配置成：在两个粒子-光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。
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公开(公告)号：CN100565189C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200510124700.2
申请日：2005-11-09
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞 , R·F·M·亨德里克斯
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/6428 , G01N23/225 , G01N2021/6432 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2826 , H01J2237/30438 , H01J2237/3174
Abstract: 本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此，用激励光束(11)照射试样(4)，同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时，标记被粒子束(3)碰撞，并被破坏，这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的，因此也就可以知道试样中标记的位置。
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公开(公告)号：CN100529726C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200410043413.4
申请日：2004-04-23
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/145 , H01J2237/10
Abstract: 粒子-光学装置一般设置磁透镜或静电透镜，以将带电粒子束(1)聚焦到样品(8)。这些装置希望能在不同束能量下使用。但是不希望粒子束的焦点位置(9)会相对样品(8)移动。磁透镜使用永磁材料(6)具有结构紧凑的优点，但一般避免使用永磁材料是因为不容易将透镜的能量调节到符合变化的束能量。本发明显示了通过将设有永磁材料的磁透镜与静电透镜结合，可保持焦点位置(9)的恒定，并使之与粒子束1的粒子能量无关。静电透镜在此示例中是加速透镜。
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公开(公告)号：CN1716512A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510067028.8
申请日：2005-04-21
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞 , T·H·J·比斯乔普斯 , M·T·穆维塞
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/143
Abstract: 本发明描述了一种粒子－光学装置，该装置配置成：在两个粒子－光学透镜系统(10、20)的辅助下聚焦带电粒子束(1)。透镜作用由磁场实现，该磁场由恒磁材料(13、23)产生。与装配有线圈的磁透镜相比，在磁透镜装配恒磁材料的情况下，不容易通过改变聚焦磁场来改变光焦度。在本发明的装置中，通过改变粒子束(1)穿过透镜系统(10、20)时具有的能量来改变透镜系统的光焦度。容易通过改变电源(14、24)的电压来实现这种情况。
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公开(公告)号：CN1590979A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410043413.4
申请日：2004-04-23
Applicant: FEI公司
Inventor： B·布伊斯塞
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/145 , H01J2237/10
Abstract: 粒子－光学装置一般设置磁透镜或静电透镜，以将带电粒子束(1)聚焦到样品(8)。这些装置希望能在不同束能量下使用。但是不希望粒子束的焦点位置(9)会相对样品(8)移动。磁透镜使用永磁材料(6)具有结构紧凑的优点，但一般避免使用永磁材料是因为不容易将透镜的能量调节到符合变化的束能量。本发明显示了通过将设有永磁材料的磁透镜与静电透镜结合，可保持焦点位置(9)的恒定，并使之与粒子束1的粒子能量无关。静电透镜在此示例中是加速透镜。
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