公开(公告)号：CN107796957A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710770956.3

申请日：2017-08-31

申请人： FEI公司

发明人： Y·纽曼

IPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q30/02

摘要： 在探针向工件下降时，通过检测基本上平行于工件表面的平面中的探针的振动的变化来检测探针着陆。可以例如通过在探针移动时获取探针的多个电子显微镜图像并且分析图像来确定诸如振动的振幅的一特性以观察振动。当探针接触工件表面时，探针尖端和工件表面之间的摩擦将改变振动的特性，其可以被检测以指示探针已经着陆。

公开(公告)号：CN107796957B

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201710770956.3

申请日：2017-08-31

申请人： FEI公司

发明人： Y·纽曼

IPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q30/02

摘要： 在探针向工件下降时，通过检测基本上平行于工件表面的平面中的探针的振动的变化来检测探针着陆。可以例如通过在探针移动时获取探针的多个电子显微镜图像并且分析图像来确定诸如振动的振幅的一特性以观察振动。当探针接触工件表面时，探针尖端和工件表面之间的摩擦将改变振动的特性，其可以被检测以指示探针已经着陆。