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发明公开
用于对准多束系统的方法和系统审中-实审

公开(公告)号：CN116895502A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310331681.9

申请日：2023-03-30

申请人： FEI 公司

发明人： J·斯托普卡 , B·赛亚 , R·瓦西纳 , R·塞诺哈

IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/147

摘要： 用于对准多束系统的方法和系统。多束显微镜系统中的子束是基于拟合像差模型的系数来对准的。特别地，用于朝向样本引导子束的照明器是基于系数来调整的，以校正像差。这些系数是基于在样本平面中测量的子束位置而获得的。