公开(公告)号：CN104040020A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280062209.X

申请日：2012-12-13

Applicant: H.C.施塔克公司

Inventor： 克里斯托弗·米沙鲁克 ,  威廉·洛文塔尔 ,  加利·罗扎克 ,  马克·阿布阿夫 ,  帕特里克·霍根 ,  史蒂文·A·米勒

IPC: C23C14/34 ,  C23C24/08

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C23C14/3407 ,  C23C24/04

Abstract: 在各个实施方案中，将用过的溅射靶通过在靶材喷涂沉积期间维持喷涂沉积枪(320)与靶的凹陷的表面外形(330)之间的大的倾斜角(300)来至少部分地翻新。

公开(公告)号：CN106170869B

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201580011722.X

申请日：2015-03-03

Applicant: H.C.施塔克公司 ,  帕特里克·霍根 ,  约翰·摩尔 ,  亚历克斯·布鲁尔 ,  杰瑞德·佩蒂特

Inventor： 帕特里克·霍根 ,  约翰·摩尔 ,  亚历克斯·布鲁尔 ,  杰瑞德·佩蒂特

IPC: H01L29/786

Abstract: 在各种实施例中，利用特征在于(i)盐酸、甲基磺酸、和硝酸的混合物，或(ii)磷酸、甲基磺酸、和硝酸的混合物的蚀刻剂来蚀刻金属双层，同时最小化双层的层之间的所产生的蚀刻间断。

公开(公告)号：CN106170869A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201580011722.X

申请日：2015-03-03

Applicant: H.C.施塔克公司 ,  帕特里克·霍根 ,  约翰·摩尔 ,  亚历克斯·布鲁尔 ,  杰瑞德·佩蒂特

Inventor： 帕特里克·霍根 ,  约翰·摩尔 ,  亚历克斯·布鲁尔 ,  杰瑞德·佩蒂特

IPC: H01L29/786

Abstract: 在各种实施例中，利用特征在于(i)盐酸、甲基磺酸、和硝酸的混合物，或(ii)磷酸、甲基磺酸、和硝酸的混合物的蚀刻剂来蚀刻金属双层，同时最小化双层的层之间的所产生的蚀刻间断。

公开(公告)号：CN104040020B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201280062209.X

申请日：2012-12-13

Applicant: H.C.施塔克公司

Inventor： 克里斯托弗·米沙鲁克 ,  威廉·洛文塔尔 ,  加利·罗扎克 ,  马克·阿布阿夫 ,  帕特里克·霍根 ,  史蒂文·A·米勒

IPC: C23C14/34 ,  C23C24/08

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C23C14/3407 ,  C23C24/04

Abstract: 在各个实施方案中，将用过的溅射靶通过在靶材喷涂沉积期间维持喷涂沉积枪(320)与靶的凹陷的表面外形(330)之间的大的倾斜角(300)来至少部分地翻新。