公开(公告)号：CN106356078A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610550190.3

申请日：2016-07-13

Applicant: HGST荷兰公司

Inventor： E.托雷斯 ,  C.黄 ,  R.西蒙斯

IPC: G11B5/31 ,  G11B5/60

CPC classification number: G11B5/3163 ,  G11B5/3133 ,  G11B5/314 ,  G11B5/40 ,  G11B2005/0021 ,  G11B5/6088

Abstract: 本文公开的实施例总体上涉及一种形成HAMR头的方法。所述方法包含使用按需滴喷工具在滑块表面的一部分上沉积按需滴喷掩模。所述滑块的表面包含NFT的至少一部分。第一保护层沉积在滑块表面的剩余的部分之上，以及按需滴喷掩模之上。将按需滴喷掩模以及设置在按需滴喷掩模上的第一保护层的一部分移除，暴露NFT的至少一部分。第二保护层沉积在第一保护层和NFT的至少暴露的部分上。通过使用按需滴喷工具来沉积按需滴喷掩模，降低按需滴喷掩模和NFT的该部分之间的对齐的严格度，并且可以使用擦除工具轻易地移除按需滴喷掩模。

公开(公告)号：CN106356078B

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：CN201610550190.3

申请日：2016-07-13

Applicant: HGST荷兰公司

Inventor： E.托雷斯 ,  C.黄 ,  R.西蒙斯

IPC: G11B5/31 ,  G11B5/60

CPC classification number: G11B5/3163 ,  G11B5/3133 ,  G11B5/314 ,  G11B5/40 ,  G11B2005/0021

Abstract: 本文公开的实施例总体上涉及一种形成HAMR头的方法。所述方法包含使用按需滴喷工具在滑块表面的一部分上沉积按需滴喷掩模。所述滑块的表面包含NFT的至少一部分。第一保护层沉积在滑块表面的剩余的部分之上，以及按需滴喷掩模之上。将按需滴喷掩模以及设置在按需滴喷掩模上的第一保护层的一部分移除，暴露NFT的至少一部分。第二保护层沉积在第一保护层和NFT的至少暴露的部分上。通过使用按需滴喷工具来沉积按需滴喷掩模，降低按需滴喷掩模和NFT的该部分之间的对齐的严格度，并且可以使用擦除工具轻易地移除按需滴喷掩模。