形成HAMR头的方法、在HAMR结构中涂覆近场换能器的方法及磁头

    公开(公告)号:CN106356078B

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201610550190.3

    申请日:2016-07-13

    申请人: HGST荷兰公司

    IPC分类号: G11B5/31 G11B5/60

    摘要: 本文公开的实施例总体上涉及一种形成HAMR头的方法。所述方法包含使用按需滴喷工具在滑块表面的一部分上沉积按需滴喷掩模。所述滑块的表面包含NFT的至少一部分。第一保护层沉积在滑块表面的剩余的部分之上,以及按需滴喷掩模之上。将按需滴喷掩模以及设置在按需滴喷掩模上的第一保护层的一部分移除,暴露NFT的至少一部分。第二保护层沉积在第一保护层和NFT的至少暴露的部分上。通过使用按需滴喷工具来沉积按需滴喷掩模,降低按需滴喷掩模和NFT的该部分之间的对齐的严格度,并且可以使用擦除工具轻易地移除按需滴喷掩模。

    制造磁极和护罩的方法

    公开(公告)号:CN102820038B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201210182781.1

    申请日:2012-06-05

    IPC分类号: G11B5/10 G11B5/127

    摘要: 本发明涉及一种制造用于数据存储系统的磁记录换能器的过程,该过程包括提供衬底、下层以及在下层上沉积至第一厚度并与所述下层接触的第一非磁性中间层,在第一中间层的第一部分上执行第一扫描抛光以平面化第一中间层的第一部分至第二厚度,在平面化的第一中间层的第一部分中提供主磁极,提供位于第一中间层的第一部分上并与其接触的光阻材料的第一图案,该图案包括限定侧面护罩沟槽的孔隙,执行湿蚀刻以去除第一中间层的至少部分从而暴露多个主磁极侧面中的至少一个,以及在侧面护罩沟槽中沉积侧面护罩材料。

    具有窄轨道宽度和小读间隙的磁传感器

    公开(公告)号:CN104821171A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201510178423.7

    申请日:2015-01-30

    申请人: HGST荷兰公司

    IPC分类号: G11B5/127 G11B5/11 G11B5/23

    摘要: 本发明公开了磁传感器及其制造方法以及磁数据记录系统。一种磁传感器,具有第一传感器叠层部分,该第一传感器叠层部分包括自由层、非磁间隔或阻挡层、以及被钉扎层结构的一部分。该传感器具有形成在第一传感器叠层部分上面的第二传感器叠层部分。第二传感器叠层部分包括被钉扎层结构的第二部分和形成在上面的反铁磁材料层。第一传感器叠层部分形成有定义传感器的起作用的宽度和条高度的宽度和条高度,而上部可以被制造得更宽和更深而不影响传感器性能。由于与图案化整个传感器叠层所需的结构相比,第一传感器叠层部分的图案化在更薄的结构上进行,所以能够以更小的尺寸和更高的分辨率来进行图案化。