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公开(公告)号：CN101201537B
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN200710196456.X
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 在本发明的灰色调掩模的检查方法中，经由照明光学系统(2)向灰色调掩模(3)照射从光源(1)发出的规定波长的光束，经由物镜系统(4)，由摄像部件(5)摄像经过灰色调掩模(3)的光束，求出摄像图像数据，根据该摄像图像数据，取得灰色调掩模的包含半透光部的区域的透过光强度分布数据。
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公开(公告)号：CN102854740A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210323436.5
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 在本发明的灰色调掩模的检查方法中，经由照明光学系统(2)向灰色调掩模(3)照射从光源(1)发出的规定波长的光束，经由物镜系统(4)，由摄像部件(5)摄像经过灰色调掩模(3)的光束，求出摄像图像数据，根据该摄像图像数据，取得灰色调掩模的包含半透光部的区域的透过光强度分布数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101196681B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200710196458.9
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , G03F7/00 , H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 在本发明的光掩膜的检查装置中，由光掩膜保持部(3a)保持光掩膜(3)，经照明光学系统(2)向光掩膜(3)照射来自光源(1)的规定波长的光束，经物镜系统(4)，由摄像元件(5)摄像光掩膜(3)的像。使照明光学系统(2)、物镜系统(4)和摄像元件(5)的光轴一致，沿光轴方向彼此独立移动操作物镜系统(4)和摄像元件(5)，摄像光掩膜(3)的像。
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公开(公告)号：CN101201537A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710196456.X
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , G03F7/00 , H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 在本发明的灰色调掩模的检查方法中，经由照明光学系统(2)向灰色调掩模(3)照射从光源(1)发出的规定波长的光束，经由物镜系统(4)，由摄像部件(5)摄像经过灰色调掩模(3)的光束，求出摄像图像数据，根据该摄像图像数据，取得灰色调掩模的包含半透光部的区域的透过光强度分布数据。
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公开(公告)号：CN101196681A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710196458.9
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , G03F7/00 , H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 在本发明的光掩膜的检查装置中，由光掩膜保持部(3a)保持光掩膜(3)，经照明光学系统(2)向光掩膜(3)照射来自光源(1)的规定波长的光束，经物镜系统(4)，由摄像元件(5)摄像光掩膜(3)的像。使照明光学系统(2)、物镜系统(4)和摄像元件(5)的光轴一致，沿光轴方向彼此独立移动操作物镜系统(4)和摄像元件(5)，摄像光掩膜(3)的像。
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公开(公告)号：CN101196680B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200710196455.5
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , G03F7/00 , H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 本发明的光掩膜的检查装置中，保持光掩膜(3)，将来自光源(1)的规定波长的光束介由照明光学系统(2)照射到光掩膜(3)，并介由物镜系统(4)且由摄像元件(5)摄像光掩膜(3)的像。从光源(1)发出的光束至少包含g线、h线或i线之一，或者包含它们任意二者以上混合后的光束，介由波长选择滤波器(6)而照射到光掩膜(3)上。
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公开(公告)号：CN101196680A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710196455.5
申请日：2007-12-05
Applicant: HOYA株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , G03F7/00 , H01L21/027 , H01L21/66
Abstract: 本发明的光掩膜的检查装置中，保持光掩膜(3)，将来自光源(1)的规定波长的光束介由照明光学系统(2)照射到光掩膜(3)，并介由物镜系统(4)且由摄像元件(5)摄像光掩膜(3)的像。从光源(1)发出的光束至少包含g线、h线或i线之一，或者包含它们任意二者以上混合后的光束，介由波长选择滤波器(6)而照射到光掩膜(3)上。
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