磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘的制造方法

    公开(公告)号:CN102615588A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210090406.4

    申请日:2007-09-11

    CPC classification number: G11B5/8404 B24B37/042 B24B37/08

    Abstract: 本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘的制造方法。在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。

    磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘制造方法

    公开(公告)号:CN101356040B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200780001238.4

    申请日:2007-09-11

    CPC classification number: G11B5/8404 B24B37/042 B24B37/08

    Abstract: 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。

    磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘的制造方法

    公开(公告)号:CN102615588B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210090406.4

    申请日:2007-09-11

    CPC classification number: G11B5/8404 B24B37/042 B24B37/08

    Abstract: 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。

    磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘制造方法

    公开(公告)号:CN101356040A

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200780001238.4

    申请日:2007-09-11

    CPC classification number: G11B5/8404 B24B37/042 B24B37/08

    Abstract: 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。

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