公开(公告)号：CN104246025A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380018675.2

申请日：2013-03-28

申请人： ISIS创新有限公司

发明人： 妮科尔·格罗贝尔 ,  阿德里安·蒂莫西·默多克 ,  安塔尔·阿道弗·科斯

IPC分类号： C30B25/16 ,  C01B31/04 ,  B82Y40/00 ,  C23C16/26 ,  C30B25/18 ,  C30B29/02

CPC分类号： C01B31/0461 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/182 ,  C01B32/186 ,  C01B32/188 ,  C01B2204/02 ,  C01B2204/04 ,  C01P2004/20 ,  C23C16/26 ,  C30B25/165 ,  C30B25/186 ,  C30B29/02

摘要： 本发明提供了一种通过化学气相沉积(CVD)来生产二维纳米材料的方法，所述方法包括使反应室中的基底与包含氢气的第一流体和包含用于所述材料的前体的第二流体接触，其中所述接触是在使得所述前体在所述室中反应从而在所述基底的表面上形成所述材料的条件下进行的，其中所述第一流体的流速与所述第二流体的流速的比率为至少5:1。还提供了可通过所述方法获得的二维纳米材料，以及包含所述纳米材料的装置。