公开(公告)号：CN1296297A

公开(公告)日：2001-05-23

申请号：CN00132966.9

申请日：2000-11-15

Applicant: JDS尤尼费斯公司

Inventor： 罗伯特·L·伍德 ,  布鲁斯·W·达德利

IPC: H01L41/053 ,  H02N2/00 ,  H02N11/00 ,  H01H9/00 ,  H01H9/02

CPC classification number: B81C1/00333 ,  B81C2203/0136

Abstract: 公开一种包封微型电动机械(MEMS)结构的方法,其中MEMS结构形成在衬底上并在封装前被包封。牺牲材料首先被沉积在衬底上以覆盖至少部分MEMS结构。接着包封材料沉积在牺牲材料上使得包封材料覆盖MEMS结构上的至少部分牺牲材料。随后牺牲材料被除去,从而包封材料形成一壳体,其与MEMS结构间隔开并覆盖MEMS结构以允许MEMS结构的预定操作。也提供用本发明各实施例的包封MEMS结构的方法制作的相关MEMS结构。

公开(公告)号：CN1333178A

公开(公告)日：2002-01-30

申请号：CN01125497.1

申请日：2001-07-05

Applicant: JDS尤尼费斯公司

Inventor： 艾德华·A·黑尔 ,  维贾亚库马·R·杜勒 ,  阿伦·B·考登 ,  拉马斯瓦米·马哈德万 ,  罗伯特·L·伍德

IPC: B81B3/00 ,  H02N10/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/056 ,  H01H1/0036 ,  H01H61/00 ,  H01H2061/006

Abstract: 在本发明的一个实施例中,微机电致动器包括:一个梁,它具有分别连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间具有波状形状的主体。主体包括与致动对象连接并响应作用于梁的压缩力及张力中至少一种力在垂直于梁的方向上对致动对象施加力的工作部分。该波状形状可为正弦波,如为接近余弦曲线单个周期或正弦曲线单个周期。该梁可被热致动或由另外致动器驱动。在另一实施例中,旋转致动器包括第一及第二梁,其中每个梁具有连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间的主体。每个主体包括第一及第二相反弯曲的部分。第一及第二梁的主体彼此相交在第一及第二梁的主体的第一及第二相反弯曲部分的会合点上。第一及第二梁的主体被操作及与致动对象连接,以响应作用于第一及第二梁的压缩力及张力中至少一种力使致动对象绕相交点转动。并描述了相应的方法。