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公开(公告)号：CN105027416B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380073434.8
申请日：2013-12-27
申请人： 天美时集团美国股份有限公司
发明人： G·斯托兹
CPC分类号： F16H1/32 , B81B5/00 , B81B2203/056
摘要： 本发明涉及一种微机电系统(MEMS)驱动装置，其包括：从动轮，所述从动轮包括围绕其外部周边的(n)个齿；围绕从动轮的致动器环，所述致动器环自身包括围绕其内部周边的(n)+(x)个齿，其中，致动器环的(n)+(x)个齿渐进地接合和脱离从动轮的(n)个齿的子集；驱动致动组件，所述驱动致动组件联接到致动器环，用于在滞后型的运动中驱动致动器环，从而促使从动轮转动，其中，在从动轮的(n)个齿的所选子集与致动器环的(n)+(x)个齿的所选子集之间接合和脱离的一个完整循环之后，从动轮转动了与[(360)(x)/(n)]°相对应的(x)个齿。
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公开(公告)号：CN102428376B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201080018950.7
申请日：2010-04-27
申请人： 玛克西姆综合公司
发明人： H·哈默
IPC分类号： G01P15/08 , B81B3/00 , G01C19/5684
CPC分类号： G01P15/08 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2203/0118 , B81B2203/056 , G01C19/5712 , G01P2015/0817
摘要： 一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器，所述微力学传感器具有一个衬底（5）以及至少一个设置在衬底（5）上并且可以相对于衬底（5）移动的质量块（6）。质量块（6）与衬底（5）和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置（1）相互连接在一起用于进行相对旋转运动。为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性，所述弯曲弹簧装置（1）具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条（2），以及至少在一个优选在每个弹簧条（2）上具有至少一个曲折段（3）。
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公开(公告)号：CN107422472A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710368339.0
申请日：2017-05-23
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0045 , B81B3/0062 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , G02B26/0858 , G02B26/0866 , G02B26/101 , B81B7/02 , G02B26/0833
摘要： 本发明涉及一种微机械的构件，具有能够调节地布置在所述支架处的能够调节的部件；和至少一个弯曲执行器，其中，至少所述能够调节的部件由于从所述至少一个弯曲执行器的所述至少一个第一部分区域的调节运动中得到的回复力关于所述支架围绕所述第一转动轴线能够调节，并且其中，至少所述能够调节的部件与至少一个永磁体如此地间接相连：使得至少所述能够调节的部件借助于由构件本身的或者外置的轭装置构建的磁场连同所述至少一个永磁体围绕所述第二转动轴线能够调节。本发明还涉及一种微镜装置。本发明还涉及一种用于同时围绕两个彼此倾斜的转动轴线调节能够调节的部件的方法。
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公开(公告)号：CN105027416A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201380073434.8
申请日：2013-12-27
申请人： 天美时集团美国股份有限公司
发明人： G·斯托兹
CPC分类号： F16H1/32 , B81B5/00 , B81B2203/056
摘要： 本发明涉及一种微机电系统(MEMS)驱动装置，其包括：从动轮，所述从动轮包括围绕其外部周边的(n)个齿；围绕从动轮的致动器环，所述致动器环自身包括围绕其内部周边的(n)+(x)个齿，其中，致动器环的(n)+(x)个齿渐进地接合和脱离从动轮的(n)个齿的子集；驱动致动组件，所述驱动致动组件联接到致动器环，用于在滞后型的运动中驱动致动器环，从而促使从动轮转动，其中，在从动轮的(n)个齿的所选子集与致动器环的(n)+(x)个齿的所选子集之间接合和脱离的一个完整循环之后，从动轮转动了与[(360)(x)/(n)]°相对应的(x)个齿。
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公开(公告)号：CN103221778A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180055845.5
申请日：2011-09-18
申请人： 快捷半导体公司
发明人： C·阿卡
IPC分类号： G01C19/5642 , B81B3/00
CPC分类号： H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
摘要： 除其它情况之外，本申请讨论了帽晶片和通孔晶片，所述帽晶片和所述通孔晶片被配置为封装在装置层的x-y面上形成的单质量块三轴陀螺仪。所述单质量块三轴陀螺仪可包括：主质量块部件、中心悬置系统以及驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，且所述主质量块部件包括向外朝所述三轴陀螺仪传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为将所述三轴陀螺仪悬置于所述单中心支架上；且所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述三轴陀螺仪关于垂直于所述x-y面的z轴以驱动频率振动。
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公开(公告)号：CN102428376A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201080018950.7
申请日：2010-04-27
申请人： 感应动力股份公司
发明人： H·哈默
IPC分类号： G01P15/08 , B81B3/00 , G01C19/5684
CPC分类号： G01P15/08 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2203/0118 , B81B2203/056 , G01C19/5712 , G01P2015/0817
摘要： 一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器，所述微力学传感器具有一个衬底（5）以及至少一个设置在衬底（5）上并且可以相对于衬底（5）移动的质量块（6）。质量块（6）与衬底（5）和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置（1）相互连接在一起用于进行相对旋转运动。为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性，所述弯曲弹簧装置（1）具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条（2），以及至少在一个优选在每个弹簧条（2）上具有至少一个曲折段（3）。
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公开(公告)号：CN100374865C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN03121845.8
申请日：2003-04-21
申请人： 株式会社和广
发明人： 冈田和广
IPC分类号： G01P15/12
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0062 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084 , G01P2015/0842 , G01P2015/0871
摘要： 本发明提供了易于实现的用于限制惯性锤位移的精密控制结构的加速度传感器。其配备具有硅层(100)、氧化硅层(20)和硅层(300)的三层结构SOI衬底，通过从上面选择性地仅除去硅的感应耦合等离子体蚀刻，形成狭缝(S1)和(S2)，接下来，从下面进行同样的蚀刻，形成沟槽部分(G1)和(G2)，将硅层(300)隔离为惯性锤(310)和基座(330)(图(a))。接着，在选择性地仅除去氧化硅的蚀刻液中浸渍，除去氧化硅层(20)的露出部分的附近部分，用连接层(200)(图(b))将玻璃基板(400)连接在基座(330)的底面上。在硅层(100)的上面，形成压敏电阻元件，检测挠曲。根据连接层(200)的厚度正确设定惯性锤(310)向上的位移自由度。
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公开(公告)号：CN1605870A
公开(公告)日：2005-04-13
申请号：CN03121845.8
申请日：2003-04-21
申请人： 株式会社和广
发明人： 冈田和广
IPC分类号： G01P15/12
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0062 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084 , G01P2015/0842 , G01P2015/0871
摘要： 本发明提供了易于实现的用于限制惯性锤位移的精密控制结构的加速度传感器。其配备具有硅层(100)、氧化硅层(20)和硅层(300)的三层结构SOI衬底，通过从上面选择性地仅除去硅的感应耦合等离子体蚀刻，形成狭缝(S1)和(S2)，接下来，从下面进行同样的蚀刻，形成沟槽部分(G1)和(G2)，将硅层(300)隔离为惯性锤(310)和基座(330)(图(a))。接着，在选择性地仅除去氧化硅的蚀刻液中浸渍，除去氧化硅层(20)的露出部分的附近部分，用连接层(200)(图(b))将玻璃基板(400)连接在基座(330)的底面上。在硅层(100)的上面，形成压敏电阻元件，检测挠曲。根据连接层(200)的厚度正确设定惯性锤(310)向上的位移自由度。
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公开(公告)号：CN103238075B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180054796.3
申请日：2011-09-18
申请人： 快捷半导体公司
发明人： C·阿卡
IPC分类号： G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC分类号： H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
摘要： 除其它情况之外，本申请讨论了一种惯性测量系统，包括器件层、帽晶片和孔晶片，其中，所述器件层包括单质量块三轴加速计，所述帽晶片粘合到所述器件层的第一表面，所述孔晶片粘合到所述器件层的第二表面，其中，所述帽晶片和所述孔晶片被配置为封装所述单质量块三轴加速计。所述单质量块三轴加速计可围绕单个中心锚悬吊，且包括单独的x轴挠曲支承部、y轴挠曲支承部和z轴挠曲支承部，其中，所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，且所述z轴挠曲支承部关于所述单个中心锚不对称。
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公开(公告)号：CN103238075A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201180054796.3
申请日：2011-09-18
申请人： 快捷半导体公司
发明人： C·阿卡
IPC分类号： G01P15/18 , G01P15/14 , G01C19/5755
CPC分类号： H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
摘要： 除其它情况之外，本申请讨论了一种惯性测量系统，包括器件层、帽晶片和孔晶片，其中，所述器件层包括单质量块三轴加速计，所述帽晶片粘合到所述器件层的第一表面，所述孔晶片粘合到所述器件层的第二表面，其中，所述帽晶片和所述孔晶片被配置为封装所述单质量块三轴加速计。所述单质量块三轴加速计可围绕单个中心锚悬吊，且包括单独的x轴挠曲支承部、y轴挠曲支承部和z轴挠曲支承部，其中，所述x轴挠曲支承部和所述y轴挠曲支承部关于所述单个中心锚对称，且所述z轴挠曲支承部关于所述单个中心锚不对称。
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