公开(公告)号：CN117321425A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202280035988.8

申请日：2022-05-10

Applicant: KOA株式会社

Inventor： 钟江敏志 ,  三浦克哉 ,  永坂功

IPC: G01P5/12

Abstract: 本发明提供一种传感器元件，其能够获得宽的感测区域，抑制感测区域中的温度分布的不均匀性，并且获得大致恒定的传感器灵敏度。本发明的传感器元件(1)的特征在于，具有基体(2)、形成于所述基体的整个表面上且电阻值因温度变化而变化的感温膜(3)以及与所述感温膜的两端连接的配线部件(4、5)，所述感温膜具备与所述配线部件连接的连接区域和从各连接区域向所述基体的中央延伸的图案，所述图案的截面积被形成为在所述连接区域侧的截面积小于在所述基体的中央的截面积。

公开(公告)号：CN115769084A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202180047300.3

申请日：2021-06-16

Applicant: KOA株式会社

Inventor： 下平正浩 ,  三浦克哉

IPC: G01P5/12

Abstract: 本发明的目的在于提供一种非定向且传感器灵敏度优异的流量传感器元件。本发明的流量传感器元件(1)的特征在于，具备球状的基体(2)和形成在所述基体的整个表面上且电阻值因温度变化而变化的感温膜图案(3)。在本发明中，所述感温膜图案优选通过对形成在所述基体的表面上的感温膜进行修整而形成。在本发明流量传感器元件中，能够在球状的基体的整个表面上配置感温膜图案，由此，无论流体方向如何都能够得到恒定的传感器灵敏度，并能够提高流量的检测精度。