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公开(公告)号：CN115769084A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202180047300.3
申请日：2021-06-16
Applicant: KOA株式会社
IPC: G01P5/12
Abstract: 本发明的目的在于提供一种非定向且传感器灵敏度优异的流量传感器元件。本发明的流量传感器元件(1)的特征在于，具备球状的基体(2)和形成在所述基体的整个表面上且电阻值因温度变化而变化的感温膜图案(3)。在本发明中，所述感温膜图案优选通过对形成在所述基体的表面上的感温膜进行修整而形成。在本发明流量传感器元件中，能够在球状的基体的整个表面上配置感温膜图案，由此，无论流体方向如何都能够得到恒定的传感器灵敏度，并能够提高流量的检测精度。
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