公开(公告)号：CN1487116A

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN03178764.9

申请日：2003-07-18

Applicant: LG电子株式会社

Inventor： 金起范 ,  金相大 ,  韩允洙 ,  卓润兴 ,  金锡洲

IPC: C23C14/26 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/543 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括：容器，由上部板、侧壁和底构件构成；加热装置，对蒸镀材料提供热量；以及移动装置，根据探测装置的信号进行工作，移动加热装置，加热装置借助于移动装置向下移动，使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上，移动装置包括：多个缸筒，使上部板上下移动；以及控制装置，接收探测装置的信号，当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时，使缸筒工作，沿侧壁向下移动上部板。

公开(公告)号：CN1873045A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200510068715.1

申请日：2003-07-18

Applicant: LG电子株式会社

Inventor： 金起范 ,  金相大 ,  韩允洙 ,  卓润兴 ,  金锡洲

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

Abstract: 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括：容器，由上部板、侧壁和底构件构成；加热装置，对蒸镀材料提供热量；以及移动装置，根据探测装置的信号进行工作，移动加热装置，加热装置借助于移动装置向下移动，使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上，移动装置包括：多个缸筒，使上部板上下移动；以及控制装置，接收探测装置的信号，当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时，使缸筒工作，沿侧壁向下移动上部板。

公开(公告)号：CN1226448C

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN03178764.9

申请日：2003-07-18

Applicant: LG电子株式会社

Inventor： 金起范 ,  金相大 ,  韩允洙 ,  卓润兴 ,  金锡洲

IPC: C23C14/26 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/543 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括：容器，由上部板、侧壁和底构件构成；加热装置，对蒸镀材料提供热量；以及移动装置，根据探测装置的信号进行工作，移动加热装置，加热装置借助于移动装置向下移动，使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上，移动装置包括：多个缸筒，使上部板上下移动；以及控制装置，接收探测装置的信号，当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时，使缸筒工作，沿侧壁向下移动上部板。

公开(公告)号：CN1690245A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510068716.6

申请日：2003-07-18

Applicant: LG电子株式会社

Inventor： 金起范 ,  金相大 ,  韩允洙 ,  卓润兴 ,  金锡洲

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括：容器，由上部板、侧壁和底构件构成；加热装置，对蒸镀材料提供热量；以及移动装置，根据探测装置的信号进行工作，移动加热装置，加热装置借助于移动装置向下移动，使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上，移动装置包括：多个缸筒，使上部板上下移动；以及控制装置，接收探测装置的信号，当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时，使缸筒工作，沿侧壁向下移动上部板。