公开(公告)号：CN101198812A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200680021416.5

申请日：2006-05-08

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： M·M·贝森 ,  D·K·史密斯 ,  R·W·小科林斯 ,  J·派瑟拉

IPC: F16K5/04 ,  F16K51/00 ,  F16K11/085 ,  C23C16/452 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/44 ,  F16K5/0421 ,  F16K11/0856 ,  F16K51/00

Abstract: 一种改进的流体流量控制阀(15a)，能够传导通过其中的热能的大部分，该阀包括第一部分(60)、第二部分(62)和可动构件(64)。第一部分包括与流体源流体连通的孔(66)。第二部分包括至少部分与第一孔(66)对准的第二孔(68)。设置在第一和第二部分之间并与它们隔开的可动构件使热能的至少主要部分能够从第一部分传导到第二部分。可动构件包括孔(70)，该孔在可动构件在打开位置时至少部分与第一和第二孔对准，且当可动构件在关闭位置时不与第一和第二孔中的至少一个对准。