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公开(公告)号：CN1720195A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200380105137.3
申请日：2003-12-04
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/00164 , B01J2219/0894 , C01B7/20
Abstract: 本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法，申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合，能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器，膜分离装置，是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中，含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中，分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环，并从体系中除去废产物。
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公开(公告)号：CN100515927C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200380105137.3
申请日：2003-12-04
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/00164 , B01J2219/0894 , C01B7/20
Abstract: 本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法，申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合，能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器，膜分离装置，是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中，含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中，分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环，并从体系中除去废产物。
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公开(公告)号：CN101198812A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200680021416.5
申请日：2006-05-08
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: F16K5/04 , F16K51/00 , F16K11/085 , C23C16/452 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/44 , F16K5/0421 , F16K11/0856 , F16K51/00
Abstract: 一种改进的流体流量控制阀(15a)，能够传导通过其中的热能的大部分，该阀包括第一部分(60)、第二部分(62)和可动构件(64)。第一部分包括与流体源流体连通的孔(66)。第二部分包括至少部分与第一孔(66)对准的第二孔(68)。设置在第一和第二部分之间并与它们隔开的可动构件使热能的至少主要部分能够从第一部分传导到第二部分。可动构件包括孔(70)，该孔在可动构件在打开位置时至少部分与第一和第二孔对准，且当可动构件在关闭位置时不与第一和第二孔中的至少一个对准。
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