公开(公告)号：CN1930464A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200580007897.X

申请日：2005-03-07

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·莱文 ,  J·塞沃特 ,  J·洛尔 ,  U·布拉默 ,  J·菲特考

IPC: G01N21/31

CPC classification number: G01N21/3151 ,  G01N2021/3181

Abstract: 一种装置和方法提供了对诸如臭氧化水中的臭氧等液体成分的测量。该装置(100)包括容纳液体的器皿(110)、被配置成引导第一光带和第二光带沿着基本共享的路径通过该器皿内的液体的光源(120、120a、120b)、以及感测该第一光带和第二光带的光电传感器(130)。该成分与第一光带相关联的吸收要大于与第二光带相关联的吸收。该方法包括响应于所感测的第二光带而对该组分的被测属性进行修改以改善被测属性的准确度。

公开(公告)号：CN101799405A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN201010129124.1

申请日：2005-03-07

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·莱文 ,  J·塞沃特 ,  J·洛尔 ,  U·布拉默 ,  J·菲特考

IPC: G01N21/31 ,  G05D11/02

CPC classification number: G01N21/3151 ,  G01N2021/3181

Abstract: 一种装置和方法提供了对诸如臭氧化水中的臭氧等液体成分的测量。该装置(100)包括容纳液体的器皿(110)、被配置成引导第一光带和第二光带沿着基本共享的路径通过该器皿内的液体的光源(120、120a、120b)、以及感测该第一光带和第二光带的光电传感器(130)。该成分与第一光带相关联的吸收要大于与第二光带相关联的吸收。该方法包括响应于所感测的第二光带而对该组分的被测属性进行修改以改善被测属性的准确度。

公开(公告)号：CN1930464B

公开(公告)日：2010-04-14

申请号：CN200580007897.X

申请日：2005-03-07

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·莱文 ,  J·塞沃特 ,  J·洛尔 ,  U·布拉默 ,  J·菲特考

IPC: G01N21/31

CPC classification number: G01N21/3151 ,  G01N2021/3181

Abstract: 一种装置和方法提供了对诸如臭氧化水中的臭氧等液体成分的测量。该装置(100)包括容纳液体的器皿(110)、被配置成引导第一光带和第二光带沿着基本共享的路径通过该器皿内的液体的光源(120、120a、120b)、以及感测该第一光带和第二光带的光电传感器(130)。该成分与第一光带相关联的吸收要大于与第二光带相关联的吸收。该方法包括响应于所感测的第二光带而对该组分的被测属性进行修改以改善被测属性的准确度。