公开(公告)号：CN1537318A

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：CN02815138.0

申请日：2002-04-05

申请人： N·V·贝卡特股份有限公司

发明人： W·C·S·德伯舍 ,  J·-P·莱蒙斯 ,  R·布洛齐 ,  G·戈宾 ,  A·G·J·布朗迪尔

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

CPC分类号： H01J37/3455 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3461

摘要： 披露一种溅射磁控管装置，包括磁场发生器(1)和目标体(4)，所述目标体(4)与所述磁场发生器(1)相关联。所述磁场发生器(1)包括磁性有源元件(5－9)和调整装置(20－25)，所述调整装置(20－25)适合于局部地变形或偏斜所述磁性有源元件(5－9)，以致改变所述磁场发生器(1)的至少一部分相对于所述目标体(4)的位置。

公开(公告)号：CN1537318B

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN02815138.0

申请日：2002-04-05

申请人： N·V·贝卡特股份有限公司

发明人： W·C·S·德伯舍 ,  J·-P·莱蒙斯 ,  R·布洛齐 ,  G·戈宾 ,  A·G·J·布朗迪尔

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

CPC分类号： H01J37/3455 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3461

摘要： 披露一种溅射磁控管装置，包括磁场发生器(1)和目标体(4)，所述目标体(4)与所述磁场发生器(1)相关联。所述磁场发生器(1)包括磁性有源元件(5-9)和调整装置(20-25)，所述调整装置(20-25)适合于局部地变形或偏斜所述磁性有源元件(5-9)，以致改变所述磁场发生器(1)的至少一部分相对于所述目标体(4)的位置。