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公开(公告)号:CN101635322B
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200910091520.7
申请日:2009-08-26
申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
CPC分类号: Y02P70/521
摘要: 一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置,采用槽体四面溢流方式,使得反应后液体快速溢出;采用上喷淋方式;药液由上部直接补充到硅片的周围;这样使药液和硅片接触更加充分,同时也使药液温度更有利于控制,保持均匀一致,改善制绒效果;采用槽体内槽底部进液,进液口向下,并对进液管路进行处理,控制调节流量,内槽的上部开有堰口,由进液管进入的液体,向上溢出堰口流到外槽内,外槽底部开有回液口,回液口通过管路与药液循环供给槽相连,靠重力使药液流回药液循环供给槽。本发明的有益效果:温度控制更容易,温控精度达到±1℃以内;有效改善制绒效果,提高产品品质,降低反射率,制绒后反射率达到20%以下。
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公开(公告)号:CN101656221A
公开(公告)日:2010-02-24
申请号:CN200910092223.4
申请日:2009-09-07
申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
IPC分类号: H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/00
摘要: 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手,属于机械技术领域。采用全自动单轴模式、具备专用移载物水平保持机构、全防腐塑料机构设计方案、动力源与执行机构分区设置,是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防腐蚀等优越性和谐统一的机械手。
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公开(公告)号:CN101635322A
公开(公告)日:2010-01-27
申请号:CN200910091520.7
申请日:2009-08-26
申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
CPC分类号: Y02P70/521
摘要: 一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置,采用槽体四面溢流方式,使得反应后液体快速溢出;采用上喷淋方式;药液由上部直接补充到硅片的周围;这样使药液和硅片接触更加充分,同时也使药液温度更有利于控制,保持均匀一致,改善制绒效果;采用槽体内槽底部进液,进液口向下,并对进液管路进行处理,控制调节流量,内槽的上部开有堰口,由进液管进入的液体,向上溢出堰口流到外槽内,外槽底部开有回液口,回液口通过管路与药液循环供给槽相连,靠重力使药液流回药液循环供给槽。本发明的有益效果:温度控制更容易,温控精度达到±1℃以内;有效改善制绒效果,提高产品品质,降低反射率,制绒后反射率达到20%以下。
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公开(公告)号:CN101656221B
公开(公告)日:2011-03-16
申请号:CN200910092223.4
申请日:2009-09-07
申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
IPC分类号: H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/00
摘要: 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手,属于机械技术领域。采用全自动单轴模式、具备专用移载物水平保持机构、全防腐塑料机构设计方案、动力源与执行机构分区设置,是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防腐蚀等优越性和谐统一的机械手。
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公开(公告)号:CN101640229A
公开(公告)日:2010-02-03
申请号:CN200910091754.1
申请日:2009-08-27
申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
IPC分类号: H01L31/18
CPC分类号: Y02P70/521
摘要: 一种多晶太阳能电池片的链式制绒降低碎片率的方法及装置,传动滚轮与限位辊子分体设计,限位辊子的设计使硅片受力方向有利于硅片的居中传送;在与硅片传送方向垂直的方向上布置限位辊子,该限位辊子绕自己的轴线自由旋转,当硅片碰到辊子时,产生的摩擦力使辊子绕自己的轴线旋转,并使硅片向传送的中心线方向移动,由于硅片的两边都布置有限位辊子,这样不论硅片碰到任一侧的限位辊子,都会使硅片产生向输送中心线方向的移动,起到自动纠偏的作用。本发明的有益效果:改变原有方案的输送滚轮与限位滚轮一体化设计,去掉限位滚轮与硅片摩擦产生的交变剪切力,减少硅片碎片的诱因,碎片率减到2‰以内。
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公开(公告)号:CN201478285U
公开(公告)日:2010-05-19
申请号:CN200920222404.X
申请日:2009-09-07
申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
IPC分类号: H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/00
摘要: 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手,属于机械技术领域。采用全自动单轴模式、具备专用移载物水平保持机构、全防腐塑料机构设计方案、动力源与执行机构分区设置,是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防腐蚀等优越性和谐统一的机械手。
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