应用节能型热场的单晶炉

    公开(公告)号:CN108085741B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN201810092243.0

    申请日:2018-01-30

    发明人: 吴学军

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 一种应用节能型热场的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,所述热场还包括中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本发明通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

    直拉法生产单晶硅用连续加料方法及单晶炉

    公开(公告)号:CN116219533A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310200714.6

    申请日:2023-03-03

    发明人: 王中弟

    IPC分类号: C30B15/02 C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开一种直拉法生产单晶硅用连续加料方法,将硅原料加入输料装置内,并对输料装置和加料装置抽真空;将输料装置和加料装置组装将硅原料加入长晶炉腔中的坩埚内,加料完成后加热使硅原料熔融,将加料管升起退出单晶炉的内腔;开始拉晶作业,硅棒的尾部离开坩埚的距离达到预设距离后,加料管再次伸入石英坩埚内,输料装置和加料装置向所述长晶炉腔内添加硅原料准备第二次拉制晶棒;抽真空后的输料装置能够使硅原料处于无尘及无氧的状态,极大的提高了硅原料的纯度,加之上述加料方法无需人工加料,缩短了加料时长,缩短拉制单晶的生产周期,提高单晶生产效率的同时降低了能耗。本发明还公开一种直拉法生产单晶硅用连续加料单晶炉。

    单晶炉水冷套结构
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103290467B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201210043236.4

    申请日:2012-02-24

    发明人: 吴学军 周凯平

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置,特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构;水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成,法兰制成中空腔体法兰,下平面焊接接管,接管为通管,上端连接法兰腔体,下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔,安装在炉盖上端中心部位;有益效果:提高成棒效率,快捷、方便,降低能耗,提高产品的产率。

    单晶炉热场中保温桶提升装置

    公开(公告)号:CN102400211B

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201110360584.X

    申请日:2011-11-15

    发明人: 吴学军 周凯平

    IPC分类号: C30B15/30

    摘要: 单晶炉热场中保温桶提升装置属于冶炼机电技术领域;特别涉及单晶炉热场安全提升中保温桶的装置;由中炉体、中保温毡、中保温桶、支撑块和支撑环组成;支撑环为环状板和中保温桶同轴心安装,下平面安装在支撑块上,上平面安装有中保温桶和中保温毡,中保温桶的外侧包裹中保温毡;支撑块同轴心固定在中炉体上;中保温毡2为石墨碳毡件;有益效果是:解决了单晶炉晶体拉制中中保温桶和中保温毡没有支撑点,易掉落和损坏的安全隐患问题;降低了成本,提高了作业效率;拆卸使用方便,便于更换。

    能够快速换料的单晶炉及单晶炉快速换料方法

    公开(公告)号:CN102286775B

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201110249175.2

    申请日:2011-08-27

    发明人: 吴学军 周凯平

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 一种能够快速换料的单晶炉,包括石墨加热器、保温桶、中炉体、热场石墨件、支撑块、下炉体、中轴、石墨托、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚升降机构、中炉体升降机构。坩埚升降机构及石墨加热器装设在下炉体内,且坩埚升降机构位于石墨加热器的下方。中轴安装在坩埚升降机构的坩埚轴上。石墨托安装在中轴的上端,石墨坩埚放在石墨托上,石英坩埚装在石墨坩埚内。中炉体安装在下炉体上,且在中炉体的内壁上装有支撑块。中炉体还与中炉体升降机构连接,中炉体升降机构用于带动中炉体上升、下降。保温桶安装在中炉体里面,且与支撑块接触。热场石墨件安装在保温桶的上端,且罩在石墨加热器上。本发明还提供一种单晶炉快速换料方法。

    单晶炉热场中保温桶提升装置

    公开(公告)号:CN102400211A

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN201110360584.X

    申请日:2011-11-15

    发明人: 吴学军 周凯平

    IPC分类号: C30B15/30

    摘要: 单晶炉热场中保温桶提升装置属于冶炼机电技术领域;特别涉及单晶炉热场安全提升中保温桶的装置;由中炉体、中保温毡、中保温桶、支撑块和支撑环组成;支撑环为环状板和中保温桶同轴心安装,下平面安装在支撑块上,上平面安装有中保温桶和中保温毡,中保温桶的外侧包裹中保温毡;支撑块同轴心固定在中炉体上;中保温毡2为石墨碳毡件;有益效果是:解决了单晶炉晶体拉制中中保温桶和中保温毡没有支撑点,易掉落和损坏的安全隐患问题;降低了成本,提高了作业效率;拆卸使用方便,便于更换。

    单晶炉用新型连续加料装置

    公开(公告)号:CN109023508B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN201811237423.X

    申请日:2018-10-23

    发明人: 张建新

    IPC分类号: C30B15/02 C30B15/14 C30B29/06

    摘要: 一种单晶炉用新型连续加料装置,包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置,还包括投料装置,投料装置设置于炉体的上端,投料装置的正下端设置有储料装置,储料装置设置于炉体的下端,过渡装置的入口端与储料装置相连接,过渡装置设置于固定装置上端,液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接,液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上,加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧;本发明彻底解决了现有技术硅料熔融后硅液晶相分布不均匀、硅液的一致性差的难题,不需预先装料,减少加料、化料的时间,提高硅棒熔融效率和水平,提高拉晶效率,有效的降低劳动强度和生产成本,同时因为其投入少,便于推广。

    单晶硅硅棒吊运夹具
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117088242A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202310980951.9

    申请日:2023-08-04

    发明人: 王中弟

    IPC分类号: B66C1/44 B66C15/00

    摘要: 本发明涉及单晶硅硅棒机械加工技术领域,具体涉及一种单晶硅硅棒吊运夹具,包括:吊耳、夹持稳定机构、固定梁、连接机构、移动夹持机构、定位机构、碎屑收集机构、连接吸附机构,所述固定梁为一根刚性梁,固定梁两端可滑动的安装有移动夹持机构;所述连接机构可滑动的嵌套在固定梁中,连接机构一端固定连接移动夹持机构,连接机构的另一端固定连接夹持稳定机构;夹持稳定机构将竖直方向上升的位移量转换为水平方向移动的位移量,以使两移动夹持机构间距缩短,以在单晶硅硅棒轴向上夹持,完成吊装搬运。如此不仅提升了单晶硅硅棒的良品率,减少了经济损失,而且就解决了硅棒从夹具掉脱落砸伤工作人员这一重大安全隐患。

    多晶炉红外测温装置及采用多晶炉红外测温装置的多晶炉

    公开(公告)号:CN102286778B

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201110224326.9

    申请日:2011-08-08

    发明人: 吴学军 周凯平

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 一种多晶炉红外测温装置,包括温度计基架、第一镜、第二镜、螺塞、石英棒、检测套杆、红外测温仪、元件承载部。温度计基架固定在多晶炉的腔体的上法兰上,其中,温度计基架包括固定在腔体上法兰上的固定座、固定在固定座上的观察筒及固定在观察筒上的密封座,其中固定座的中心开设有观察孔及穿入孔,观察筒与观察孔同心设置,密封座的通孔与观察筒的观察孔同心设置,第一镜安装在密封座的通孔内。螺塞旋在温度计基架的固定座上,且与固定座上的穿入孔同心。元件承载部设置在在温度计基架上,将第二镜、红外测温仪置于密封座正上方。本发明还提供一种采用该多晶炉红外测温装置的多晶炉。

    单晶炉水冷套结构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103290467A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201210043236.4

    申请日:2012-02-24

    发明人: 吴学军 周凯平

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 单晶炉水冷套结构属于冶炼系统单晶炉冶炼装置,特别涉及单晶炉冶炼水冷套结构;水冷套由法兰、接管和外筒组焊制成,法兰制成中空腔体法兰,下平面焊接接管,接管为通管,上端连接法兰腔体,下端连接由外筒和内筒同轴心组焊成的空腔,安装在炉盖上端中心部位;有益效果:提高成棒效率,快捷、方便,降低能耗,提高产品的产率。