单晶炉用新型连续加料装置

    公开(公告)号:CN109023508B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN201811237423.X

    申请日:2018-10-23

    发明人: 张建新

    IPC分类号: C30B15/02 C30B15/14 C30B29/06

    摘要: 一种单晶炉用新型连续加料装置,包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置,还包括投料装置,投料装置设置于炉体的上端,投料装置的正下端设置有储料装置,储料装置设置于炉体的下端,过渡装置的入口端与储料装置相连接,过渡装置设置于固定装置上端,液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接,液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上,加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧;本发明彻底解决了现有技术硅料熔融后硅液晶相分布不均匀、硅液的一致性差的难题,不需预先装料,减少加料、化料的时间,提高硅棒熔融效率和水平,提高拉晶效率,有效的降低劳动强度和生产成本,同时因为其投入少,便于推广。

    单晶硅硅棒吊运夹具
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117088242A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202310980951.9

    申请日:2023-08-04

    发明人: 王中弟

    IPC分类号: B66C1/44 B66C15/00

    摘要: 本发明涉及单晶硅硅棒机械加工技术领域,具体涉及一种单晶硅硅棒吊运夹具,包括:吊耳、夹持稳定机构、固定梁、连接机构、移动夹持机构、定位机构、碎屑收集机构、连接吸附机构,所述固定梁为一根刚性梁,固定梁两端可滑动的安装有移动夹持机构;所述连接机构可滑动的嵌套在固定梁中,连接机构一端固定连接移动夹持机构,连接机构的另一端固定连接夹持稳定机构;夹持稳定机构将竖直方向上升的位移量转换为水平方向移动的位移量,以使两移动夹持机构间距缩短,以在单晶硅硅棒轴向上夹持,完成吊装搬运。如此不仅提升了单晶硅硅棒的良品率,减少了经济损失,而且就解决了硅棒从夹具掉脱落砸伤工作人员这一重大安全隐患。

    应用节能型热场的单晶炉

    公开(公告)号:CN108085741B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN201810092243.0

    申请日:2018-01-30

    发明人: 吴学军

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 一种应用节能型热场的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,所述热场还包括中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本发明通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

    直拉法生产单晶硅用连续加料方法及单晶炉

    公开(公告)号:CN116219533A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310200714.6

    申请日:2023-03-03

    发明人: 王中弟

    IPC分类号: C30B15/02 C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开一种直拉法生产单晶硅用连续加料方法,将硅原料加入输料装置内,并对输料装置和加料装置抽真空;将输料装置和加料装置组装将硅原料加入长晶炉腔中的坩埚内,加料完成后加热使硅原料熔融,将加料管升起退出单晶炉的内腔;开始拉晶作业,硅棒的尾部离开坩埚的距离达到预设距离后,加料管再次伸入石英坩埚内,输料装置和加料装置向所述长晶炉腔内添加硅原料准备第二次拉制晶棒;抽真空后的输料装置能够使硅原料处于无尘及无氧的状态,极大的提高了硅原料的纯度,加之上述加料方法无需人工加料,缩短了加料时长,缩短拉制单晶的生产周期,提高单晶生产效率的同时降低了能耗。本发明还公开一种直拉法生产单晶硅用连续加料单晶炉。

    应用节能型热场的单晶炉

    公开(公告)号:CN108085741A

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201810092243.0

    申请日:2018-01-30

    发明人: 吴学军

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 一种应用节能型热场的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,所述热场还包括中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本发明通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

    单晶炉用新型连续加料装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109023508A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201811237423.X

    申请日:2018-10-23

    发明人: 张建新

    IPC分类号: C30B15/02 C30B15/14 C30B29/06

    摘要: 一种单晶炉用新型连续加料装置,包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置,还包括投料装置,投料装置设置于炉体的上端,投料装置的正下端设置有储料装置,储料装置设置于炉体的下端,过渡装置的入口端与储料装置相连接,过渡装置设置于固定装置上端,液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接,液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上,加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧;本发明彻底解决了现有技术硅料熔融后硅液晶相分布不均匀、硅液的一致性差的难题,不需预先装料,减少加料、化料的时间,提高硅棒熔融效率和水平,提高拉晶效率,有效的降低劳动强度和生产成本,同时因为其投入少,便于推广。

    直拉法生产单晶硅用连续加料装置

    公开(公告)号:CN219470271U

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202320386374.6

    申请日:2023-03-03

    发明人: 王中弟

    IPC分类号: C30B15/02 C30B29/06

    摘要: 本实用新型公开一种直拉法生产单晶硅用连续加料装置,包括加料组件和升降组件,升降组件安装在单晶炉上,加料组件安装在升降组件上,波纹管的下端和单晶炉炉盖的进料口密封连接,石英管插入波纹管内并用第一法兰将波纹管的上端和石英管的上端处密封连接,石英管的下端穿过波纹管和单晶炉内部连通,封闭仓、波纹管和石英管组成一个封闭的硅料加入通道,升降组件驱动第一法兰上下移动过程中使波纹管伸长或收缩,第一法兰推动石英管逐渐朝单晶炉内插入使得石英管的下端逐渐靠近石英坩埚内的熔融硅液面完成准备加入硅料状态,第一法兰拉动石英管逐渐远离石英坩埚使石英管的下端从单晶炉内退出以便于单晶炉再次准备拉晶工序。

    拉晶炉用取晶笼装置
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208701247U

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201821431012.X

    申请日:2018-09-03

    发明人: 张建新

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本实用新型提出一种拉晶炉用取晶笼装置,包括第一半体、第二半体、第一支撑体、第二支撑体,第一半体和第二半体相对设置,以形成用于放置晶棒的空心圆柱体,第一半体和第二半体的一侧具有铰接件,另一侧具有开合件,第一支撑体和第二支撑体沿着晶棒长度方向活动设置于第一半体的下方,用于支撑第一半体和第二半体,相对开合设置的第一半体和第二半体,不仅形成了放置晶棒的空心容纳体,而且第一支撑体和第二支撑体形成了水平支撑件,晶棒水平放置能够增加其放置稳定性,还能使晶棒保持与地面较高的距离,避免地面热量和杂质的污染,而且相对活动设置的支撑体能够满足取晶笼随意水平放置或竖直放置的需求。

    中排气式单晶炉
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207793472U

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201820158394.7

    申请日:2018-01-30

    发明人: 吴学军

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 一种中排气式单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、保温层、中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本实用新型通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

    应用节能型热场的单晶炉
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207793470U

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201820156857.6

    申请日:2018-01-30

    发明人: 吴学军

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 应用节能型热场的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,所述热场还包括中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本实用新型通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利