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公开(公告)号：CN107208260B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201580074334.6
申请日：2015-01-30
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/32 , B23B27/14 , B23C5/202 , B23C2200/36 , B23P15/28 , C23C14/345 , C23C14/50 , C23C14/505 , C23C14/568 , C23C16/4588 , C23C16/54
Abstract: 本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。
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公开(公告)号：CN105682837A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480059340.X
申请日：2014-11-08
Applicant: 三菱日立工具技术株式会社
Inventor： 马场诚
IPC: B23C5/10
CPC classification number: B23C5/10 , B23C3/28 , B23C3/30 , B23C5/1009 , B23C5/1018 , B23C2200/36 , B23C2210/08 , B23C2210/084 , B23C2210/126 , B23C2210/54 , B23C2222/28
Abstract: 本发明的圆弧立铣刀以及切削加工方法在能够实现高效率的切削加工的同时，能够使被切削件获得高精度的加工面粗糙度。具有绕中心轴(O)排列的多个副切削刃(3)和与副切削刃(3)的径向外周侧连续的圆弧状的多个圆弧刃(6)，将副切削刃(3)在径向上划分为内周侧副切削刃(4)和外周侧副切削刃(5)，使切削时的圆弧刃(6)的最下点(Pb)位于从外周侧副切削刃(5)与圆弧刃(6)的边界(P2)到圆弧刃(6)与外周刃(7)的边界(P4)为止的区间，使多个内周侧副切削刃(4)的第二面(40)在靠近中心轴(O)的部分处连结，使连结的第二面(40)的区域从包括中心轴(O)在内的区域朝向各内周侧副切削刃(4)的径向外周侧呈带状地连续，使带状的区域的宽度从中心轴(O)侧朝向径向外周侧逐渐扩大。
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公开(公告)号：CN105682837B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201480059340.X
申请日：2014-11-08
Applicant: 三菱日立工具技术株式会社
Inventor： 马场诚
IPC: B23C5/10
CPC classification number: B23C5/10 , B23C3/28 , B23C3/30 , B23C5/1009 , B23C5/1018 , B23C2200/36 , B23C2210/08 , B23C2210/084 , B23C2210/126 , B23C2210/54 , B23C2222/28
Abstract: 本发明的圆弧立铣刀以及切削加工方法在能够实现高效率的切削加工的同时，能够使被切削件获得高精度的加工面粗糙度。具有绕中心轴(O)排列的多个副切削刃(3)和与副切削刃(3)的径向外周侧连续的圆弧状的多个圆弧刃(6)，将副切削刃(3)在径向上划分为内周侧副切削刃(4)和外周侧副切削刃(5)，使切削时的圆弧刃(6)的最下点(Pb)位于从外周侧副切削刃(5)与圆弧刃(6)的边界(P2)到圆弧刃(6)与外周刃(7)的边界(P4)为止的区间，使多个内周侧副切削刃(4)的第二面(40)在靠近中心轴(O)的部分处连结，使连结的第二面(40)的区域从包括中心轴(O)在内的区域朝向各内周侧副切削刃(4)的径向外周侧呈带状地连续，使带状的区域的宽度从中心轴(O)侧朝向径向外周侧逐渐扩大。
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公开(公告)号：CN107208260A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580074334.6
申请日：2015-01-30
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/32 , B23B27/14 , B23C5/202 , B23C2200/36 , B23P15/28 , C23C14/345 , C23C14/50 , C23C14/505 , C23C14/568 , C23C16/4588 , C23C16/54
Abstract: 本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。
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