公开(公告)号：CN107697883A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201710904853.1

申请日：2017-09-29

申请人： 江西师范大学

发明人： 俞挺 ,  徐铿 ,  丁金龙 ,  李星仪 ,  方雨苏 ,  郭满满 ,  李钦亮

IPC分类号： B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

CPC分类号： B82B1/003 ,  B82B3/0028 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本申请提供一种耦合纳米机械振子及其形成方法，其中耦合纳米机械振子包括：衬底；依次悬空于衬底表面的第一纳米机械振子单元和第二纳米机械振子单元；其中，第一纳米机械振子单元为耦合单元，第二纳米机械振子单元为工作单元，所述工作单元具有光学模式和机械模式，耦合单元具有光学模式，且在泵浦光驱动下，第一纳米机械振子单元的光学模式和第二纳米机械振子单元的光学模式耦合。本申请的纳米机械振子灵敏度和分辨率高，本申请的纳米机械振子形成工艺步骤简单。