石英玻璃的制备方法及石英玻璃

    公开(公告)号:CN106380072A

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:CN201610809328.7

    申请日:2016-09-07

    摘要: 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃,涉及石英玻璃制造技术领域,主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F2等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括:通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解混合形成掺杂混合溶液,第一掺杂化合物为含铝化合物,第二掺杂化合物包括含Zr化合物、含Y化合物、含La化合物、含Sc化合物、含Th化合物、含V化合物、含Ti化合物中的至少一种;石英玻璃成品中包含有经第一部分烧制转化而成的Al2O3、经第二部分烧制转化而成的ZrO2、Y2O3、La2O3、Sc2O3、ThO2、V2O5、TiO2中的至少一种。Al2O3、ZrO2、Y2O3、La2O3、Sc2O3、ThO2、V2O5、TiO2以网络中间体或网络外体形式填充在SiO2四面体网络结构的孔隙中,石英玻璃抗酸性腐蚀。