利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

16 条记录 (耗时 0.023 秒)

    用于容积泵的补偿装置
    1.
    发明公开
    用于容积泵的补偿装置 无效

    公开(公告)号：CN108026907A

    公开(公告)日：2018-05-11

    申请号：CN201680056387.X

    申请日：2016-09-27

    申请人： 塞泰克单一股东股份公司

    发明人： A·帕拉蒂尼

    IPC分类号： F04B11/00 ,  F04B15/02 ,  F04B23/02 ,  F04B49/22

    CPC分类号： F04B49/022 ,  F04B11/0025 ,  F04B11/0041 ,  F04B15/02 ,  F04B15/04 ,  F04B23/02 ,  F04B49/22

    摘要： 一种用于容积泵的补偿装置，包括：储罐(2)，该储罐(2)预先布置成与泵(P)的传送管线(O)连接和与增压气体源(A)连接；控制阀(3)，该控制阀(3)布置成用于打开或关闭在储罐(2)和增压气体源(A)之间的连接；以及控制模块(4)，该控制模块(4)与控制阀(3)连接。所述装置包括与储罐(2)相关的液面传感器(5)，用于检测储罐(2)内部的液体的阈值液面高度，并与控制模块(4)连接，用于向所述控制模块(4)发送表示液面高度高于阈值高度的至少一个操作信号。控制模块(4)设置成在存在所述操作信号时确定控制阀(3)的打开，并在没有所述操作信号时确定控制阀(3)的关闭。

    脉动减轻装置和检查装置
    2.
    发明授权
    脉动减轻装置和检查装置 失效

    公开(公告)号：CN101280886B

    公开(公告)日：2012-07-25

    申请号：CN200810096074.4

    申请日：2006-06-13

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 八田政隆

    IPC分类号： F17D1/20

    CPC分类号： F04B11/0025 ,  F16L55/053 ,  Y10T137/86043

    摘要： 本发明提供一种脉动减轻装置和一种使用这种脉动减轻装置的检查装置。该脉动减轻装置是在具备使液体在基台内循环的泵和贮存通过该泵循环的液体的罐体的装置中使用，其将在所述罐体内的液面上的空隙部的气体作为缓冲体，减轻所述泵引起的所述液体的脉动，其特征在于，分别设置有检测所述罐体内的液体的液面上限的第一液面传感器和检测所述罐体内的液体的液面下限的第二液面传感器，通过根据所述第一、第二液面传感器的检测信号将所述空隙部的气体压力维持为一定水平，将所述罐体内的液面高度控制在规定的范围内。

    一种膜片泵
    4.
    发明授权
    一种膜片泵 失效

    公开(公告)号：CN1077655C

    公开(公告)日：2002-01-09

    申请号：CN97115524.0

    申请日：1997-07-03

    申请人： 金成哲

    发明人： 金成哲

    IPC分类号： F04B43/02

    CPC分类号： F04B11/0025 ,  A61M5/14224 ,  A61M2206/22 ,  F04B43/02

    摘要： 一种膜片泵，具有有效防止被排出液体脉动的简单结构，包括：一个连接于一个膜片泵关侧排出口上的并有一个排出侧的排出口的气室，从而通过防止液体脉动而使管子不受损坏，而且嗓音水平可减小到一个非常满意的水平。

    液体导管的缓冲器
    5.
    发明授权
    液体导管的缓冲器 失效

    公开(公告)号：CN1046578C

    公开(公告)日：1999-11-17

    申请号：CN95193173.3

    申请日：1995-05-12

    申请人： LJ管道有限公司

    发明人： 利夫·约翰内松

    IPC分类号： F16L55/055 ,  F04B11/00

    CPC分类号： F04B11/0025 ,  F16L55/055 ,  Y10T137/7848 ,  Y10T137/7935

    摘要： 一种在液体导管(4)中的缓冲器。该缓冲器包括一封闭的液体罐(10)，罐中部分地充有气体并有一与导管(4)相连的连接装置(11)。液体可通过该连接装置流向罐(10)并从其中流出，以对气体加压和减压。连接装置(11)包括一止回阀装置，它在其向前的方向上允许基本上是自由的液体从导管(4)流向液体罐，并允许在其向后的方向上使受到节流的液体从罐中流向导管。

    波纹管泵装置
    6.
    发明公开
    波纹管泵装置 有权

    公开(公告)号：CN107110147A

    公开(公告)日：2017-08-29

    申请号：CN201580070335.3

    申请日：2015-07-06

    申请人： 日本皮拉工业株式会社

    发明人： 中野笃 ,  永江庆士

    IPC分类号： F04B43/08 ,  F04B43/10

    CPC分类号： F04B43/10 ,  F04B11/00 ,  F04B11/0025 ,  F04B43/0081 ,  F04B43/067 ,  F04B43/113 ,  F04B45/022 ,  F04B45/0336 ,  F04B49/065 ,  F04B49/22 ,  F04B2203/10 ,  F04B2205/13

    摘要： 提供一种波纹管泵装置，即使是已经设置的波纹管泵，也能够容易地抑制在从工作流体的吸入向排出切换时所产生的冲击压力。波纹管泵装置对密闭的2个空气室(21、26)中的一个空气室(26)供给加压空气，由此使波纹管(13、14)进行伸长动作而将转送流体吸入，对另一个空气室(21)供给加压空气，由此使波纹管(13、14)进行收缩动作而将转送流体排出。该波纹管泵装置具有：电动气压调节器(51、52)，其对向一个空气室(26)供给的加压空气的第1空气压力、以及向另一个空气室(21)供给的加压空气的第2空气压力进行调整；以及控制部(6)，其以下述方式对电动气压调节器(51、52)进行控制，即，在波纹管(13、14)的伸长动作时的至少伸长结束时刻，使得第1空气压力低于第2空气压力。

    脉动减轻装置和检查装置
    7.
    发明授权
    脉动减轻装置和检查装置 有权

    公开(公告)号：CN100429455C

    公开(公告)日：2008-10-29

    申请号：CN200610091883.7

    申请日：2006-06-13

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 八田政隆

    IPC分类号： F17D1/20

    CPC分类号： F04B11/0025 ,  F16L55/053 ,  Y10T137/86043

    摘要： 在专利文献1所述的脉动减轻装置的情况下，将主腔室配置在辅助腔室的高位置，在主腔室内溶解空气产生的增量的液体溢流到辅助腔室，通过辅助腔室内的空气置换该液量，使得例如在半导体晶片等的被处理体的检查装置等在载置体上冷却被处理体的情况下，在载置体内循环的制冷剂在主腔室内容易气化，液体的气化容量超过空气溶解到液体中的容量时，主腔室内的气体压力上升，有损于脉动减轻功能。本发明的脉动减轻装置(10)具备：留有空隙部贮存制冷剂的第一罐体(15A)、在高于其的位置配置的状态下连接在第一罐体(15A)上且向第一罐体(15A)内补充制冷剂的补充罐体(15B)和连接第一罐体(15A)与补充罐体(15B)的空隙部的抽气配管(15C)。

    脉动减轻装置和检查装置
    8.
    发明公开
    脉动减轻装置和检查装置 失效

    公开(公告)号：CN101280886A

    公开(公告)日：2008-10-08

    申请号：CN200810096074.4

    申请日：2006-06-13

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 八田政隆

    IPC分类号： F17D1/20

    CPC分类号： F04B11/0025 ,  F16L55/053 ,  Y10T137/86043

    摘要： 本发明提供一种脉动减轻装置和一种使用这种脉动减轻装置的检查装置。该脉动减轻装置是在具备使液体在基台内循环的泵和贮存通过该泵循环的液体的罐体的装置中使用，其将在所述罐体内的液面上的空隙部的气体作为缓冲体，减轻所述泵引起的所述液体的脉动，其特征在于，分别设置有检测所述罐体内的液体的液面上限的第一液面传感器和检测所述罐体内的液体的液面下限的第二液面传感器，通过根据所述第一、第二液面传感器的检测信号将所述空隙部的气体压力维持为一定水平，将所述罐体内的液面高度控制在规定的范围内。

    脉动减轻装置和检查装置
    9.
    发明公开
    脉动减轻装置和检查装置 有权

    公开(公告)号：CN1900577A

    公开(公告)日：2007-01-24

    申请号：CN200610091883.7

    申请日：2006-06-13

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 八田政隆

    IPC分类号： F17D1/20

    CPC分类号： F04B11/0025 ,  F16L55/053 ,  Y10T137/86043

    摘要： 在专利文献1所述的脉动减轻装置的情况下，将主腔室配置在辅助腔室的高位置，在主腔室内溶解空气产生的增量的液体溢流到辅助腔室，通过辅助腔室内的空气置换该液量，使得例如在半导体晶片等的被处理体的检查装置等在载置体上冷却被处理体的情况下，在载置体内循环的制冷剂在主腔室内容易气化，液体的气化容量超过空气溶解到液体中的容量时，主腔室内的气体压力上升，有损于脉动减轻功能。本发明的脉动减轻装置(10)具备：留有空隙部贮存制冷剂的第一罐体(15A)、在高于其的位置配置的状态下连接在第一罐体(15A)上且向第一罐体(15A)内补充制冷剂的补充罐体(15B)和连接第一罐体(15A)与补充罐体(15B)的空隙部的抽气配管(15C)。