油扩散泵以及真空成膜装置

    公开(公告)号:CN104797826B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201380060293.6

    申请日:2013-03-14

    发明人: 税所慎一郎

    IPC分类号: F04F9/00

    摘要: 提供一种油扩散泵,其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵,在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70),使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气,将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去,并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有:容器(71、72),其在立起设置方向上延伸,且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭,用于在内部贮油;感应线圈(75),其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围;以及供电单元,其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且,构成为,通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电,由此使筒部件(71)自身加热,使容器内的油气化。

    油扩散泵以及真空成膜装置

    公开(公告)号:CN104797826A

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201380060293.6

    申请日:2013-03-14

    发明人: 税所慎一郎

    IPC分类号: F04F9/00

    摘要: 提供一种油扩散泵,其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵,在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70),使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气,将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去,并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有:容器(71、72),其在立起设置方向上延伸,且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭,用于在内部贮油;感应线圈(75),其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围;以及供电单元,其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且,构成为,通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电,由此使筒部件(71)自身加热,使容器内的油气化。