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公开(公告)号：CN100554681C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200580009548.1
申请日：2005-03-23
申请人： 株式会社大阪真空机器制作所
CPC分类号： F04B19/006 , F04B19/24 , F04B37/06
摘要： 在泵装置中设有：低温平板组(低温部)C，具有在横穿气体流路(4)的方向上隔一定间隔互相平行排列的多个作为低温物体的平板(5)；高温平板组(高温部)H，具有在横穿流路(4)的方向上隔一定间隔互相平行排列的多个作为高温物体的平板(6)；以及温度操纵单元，至少操纵其中一方平板组的温度以使该平板组之间产生温差。平板(5)和平板(6)在流路(4)的气流方向上错开配置，并且绝热层介于平板(5)和平板(6)之间。
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公开(公告)号：CN103291585A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310064984.5
申请日：2013-02-28
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 高桥走
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/06 , F04B37/08 , F04B37/085
摘要： 本发明提供一种低温泵及其再生方法，其课题在于提高低温泵再生所涉及的安全性。低温泵的再生方法包括如下步骤：使用于低温泵的压力传感器停止；开始用于吸附气体分子的超低温面的升温；在使压力传感器停止的状态下，开始低温泵的粗抽；及在使压力传感器停止的状态下，结束粗抽。该方法也可包括在粗抽结束后启动压力传感器的步骤。
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公开(公告)号：CN103291585B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310064984.5
申请日：2013-02-28
申请人： 住友重机械工业株式会社
发明人： 高桥走
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/06 , F04B37/08 , F04B37/085
摘要： 本发明提供一种低温泵及其再生方法，其课题在于提高低温泵再生所涉及的安全性。低温泵的再生方法包括如下步骤：使用于低温泵的压力传感器停止；开始用于吸附气体分子的超低温面的升温；在使压力传感器停止的状态下，开始低温泵的粗抽；及在使压力传感器停止的状态下，结束粗抽。该方法也可包括在粗抽结束后启动压力传感器的步骤。
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公开(公告)号：CN104797826A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060293.6
申请日：2013-03-14
申请人： 株式会社新柯隆
发明人： 税所慎一郎
IPC分类号： F04F9/00
CPC分类号： F23D91/04 , F04F5/20 , F04F5/40 , F04F9/00 , F24H2250/08 , H05B6/108 , F04B37/02 , F04B37/06 , F04B37/14
摘要： 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。
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公开(公告)号：CN103502642A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280019603.5
申请日：2012-02-13
发明人： 尤里·伊瑞维奇·克鲁斯 , 费利克斯·格瑞戈瑞维奇·切列米辛 , 丹尼斯·弗拉基米罗维奇·马丁诺夫
CPC分类号： F04B19/24 , F04B19/006 , F04B37/06
摘要： 该装置包括连续的柱形分离管，其包括至少两级交替的依次连接的小半径和大半径管。管的一端构成热区，相反一端构成冷区。泵是由交替的大半径（R）的直管和小半径（r）的U型弯管制成。为获得最佳性能，可选用以下的尺寸比：直管的大半径（R）与U型管的小半径（r）的比在R/r=2～10000的值域范围内，热区的温度（T2）与冷区温度（T1）的比T2/T1=1.1～3.0。直管和U型管的长度和半径尺寸的选择是为了确保气体温度从热区温度到冷区温度的给定变化。
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公开(公告)号：CN102227371A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200980147393.6
申请日：2009-09-30
申请人： 福斯德物理学有限责任公司
发明人： 斯科特·戴维斯
IPC分类号： B81B1/00
CPC分类号： F25B9/004 , B01L3/00 , B01L3/50273 , B01L7/00 , F04B19/006 , F04B37/06 , F15D1/004 , F24F7/04 , F25B9/002 , F25B9/04 , F25B2400/15 , F25B2500/01 , Y10T137/0318 , Y10T137/2082 , Y10T137/8593
摘要： 符合本发明的材料、组件、和方法涉及具有流体的微尺度沟槽的制造和使用，其中所述流体的温度和流动至少部分地通过所述微尺度沟槽的几何形状和所述微尺度沟槽的壁的至少一部分的构型以及构成所述流体的组分粒子来控制。此外，所述微尺度沟槽的壁和所述组分粒子被构造为使得所述组分粒子和所述壁之间的碰撞为基本上镜面的。
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公开(公告)号：CN104074717B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201410118130.5
申请日：2014-03-27
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
摘要： 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。
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公开(公告)号：CN103502642B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201280019603.5
申请日：2012-02-13
发明人： 尤里·伊瑞维奇·克鲁斯 , 费利克斯·格瑞戈瑞维奇·切列米辛 , 丹尼斯·弗拉基米罗维奇·马丁诺夫
CPC分类号： F04B19/24 , F04B19/006 , F04B37/06
摘要： 该装置包括连续的柱形分离管，其包括至少两级交替的依次连接的小半径和大半径管。管的一端构成热区，相反一端构成冷区。泵是由交替的大半径（R）的直管和小半径（r）的U形弯管制成。为获得最佳性能，可选用以下的尺寸比：直管的大半径（R）与U形管的小半径（r）的比在R/r=2～10000的值域范围内，热区的温度（T2）与冷区温度（T1）的比T2/T1=1.1～3.0。直管和U形管的长度和半径尺寸的选择是为了确保气体温度从热区温度到冷区温度的给定变化。
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公开(公告)号：CN104179688A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410217789.6
申请日：2014-05-21
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/70 , B01D53/0438 , B01D53/685 , B01D53/74 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D53/92 , B01D2251/30 , B01D2252/103 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/1124 , B01D2253/206 , B01D2255/10 , B01D2257/2025 , B01D2257/204 , B01D2257/2042 , B01D2257/2045 , B01D2257/553 , B01D2257/556 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , F04B37/06 , F04B37/14
摘要： 本发明以低成本且迅速地提供一种带有除害功能的真空泵，其在真空泵的后级附设有小型且可拆卸的除害部，通过变更所附设的除害部的种类、个数、排列的组合，从而可符合所要求的除害性能。该带有除害功能的真空泵(1)，在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而无害化的除害部(10)，废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部(10)中至少一个除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
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公开(公告)号：CN104074717A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410118130.5
申请日：2014-03-27
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
摘要： 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。
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