流量传感器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100588917C

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200610001247.0

    申请日:2006-01-10

    IPC分类号: G01F1/684

    CPC分类号: G01F1/6845 G01F1/699 G01P5/10

    摘要: 本发明提供一种流量传感器,能够通过在半导体衬底上隔着绝缘膜形成具有相对较高的TCR的金属膜来实现高灵敏度。作为热式流体流量传感器的测量元件包括:由第1金属膜构成的发热电阻体(3)、测温电阻体(上游侧测温电阻体(4a)和下游侧测温电阻体(4b))、以及空气温度测温电阻体(5),由用溅射法在含金属的非晶质膜(9)上淀积得到的具有Ta结晶块的3倍或3倍以下电阻率的α-Ta膜形成上述第1金属膜。

    包括电阻式温度传感器和加热元件的空气流量传感系统

    公开(公告)号:CN101275863A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200710126392.6

    申请日:2007-07-03

    IPC分类号: G01F1/86 G01F1/69 G01K7/24

    CPC分类号: G01F1/69 G01F1/698 G01F1/699

    摘要: 公开了一种包括加热元件的空气流量传感器,该加热元件包括上游侧和下游侧。两个电阻式温度传感器放置于加热元件的每一侧,并且假设空气/液体沿着从左到右的方向流动。电阻器电学上设置成惠斯通电桥的配置。在质流感测惠斯通电桥上施加稳定电压。该稳定电压设置为足够高,以在感测电桥上产生自加热效应。该中央加热元件也被加热。当空气/液体流过温度传感器和加热元件时,该上游(RU1和RU2)电阻器被冷却,而该下游(RD1和RD2)电阻器被加热。电阻式温度传感器的电阻随着温度变化,产生与施加到该感测惠斯通电桥上的稳定电压和空气/液体流流速成比例的差分电压信号。

    多功能涡流流量计
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1989394A

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200480043599.1

    申请日:2004-09-09

    发明人: 松原直基

    IPC分类号: G01F1/32

    摘要: 一种多功能涡流流量计,包括涡流式检测机构(15),该涡流式检测机构具有设于流管(9)的流路上使被测量流体通过的测量管(12)、与被测量流体的流动对置地设置在测量管(12)上的涡流发生器(13)、和检测基于由涡流发生器(13)所产生的卡门涡旋的变化的涡流检测器(14),并包括具有突出于流路(9)中的感温传感器(16)和加热感温传感器(17)的热检测机构(18),此外还包括流量转换器(8),该流量转换器进行电力供给量控制,并从该电量算出被测量流体的流量以及从涡流检测器(14)的检测值算出被测量流体的流量,所述电力供给量是为了使感温传感器(16)和加热感温传感器(17)之间的温度差保持一定的加热感温传感器(17)的加热所需的电力供给量。

    低流体流率的高精度测量和控制

    公开(公告)号:CN1954196A

    公开(公告)日:2007-04-25

    申请号:CN200580015268.1

    申请日:2005-03-17

    IPC分类号: G01F1/68

    摘要: 低流率流体的流在流率感测组件中测量和控制,而并不在流体流的通路中引入测量装置。流率感测组件容纳在外壳中以减少环境和流体温度的变化对所获取的测量值的影响。在流体流穿流率感测组件中的管道时,将管道加热以分配热给流体。以流体流的方向沿着管道在彼此隔开的位置附着热传感器以感测温度。对加在管道的热量进行控制以在热传感器之间保持已确定的温度差。对所加的热量进行测量以提供流体流率的精确的成比例的指示。

    流量计
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1546953A

    公开(公告)日:2004-11-17

    申请号:CN200410042192.9

    申请日:2000-10-30

    IPC分类号: G01F1/684 G01F1/696

    摘要: 根据使用包含旁热式流量传感器单元的发热体(33)的流量检测部以及包含作为结构电阻体的流体温度检测部的各感温体的电桥电路(73)的检测电路的输出,利用检量线得到流体流量值的流量计。电桥电路,通过串联连接的电阻体之间的连接端子中的任意一个与输出端子进行选择性连接的多路转换器(731),使电路特性值多级变化。检量线与电路特性值的等级相对应地被设置为多个,与通过多路转换器选择的电路特性值等级相对应选择多个检量线中的任意一个。多个检量线中的每个都设定有测定的流量范围,根据得到的流体流量值控制多路转换器并使用与该流量值所属的流量范围对应的检量线。利用该流量计,能够在很宽的流量范围内进行良好精度的流量测定。

    具有流体判别功能的热式流量计

    公开(公告)号:CN1172166C

    公开(公告)日:2004-10-20

    申请号:CN00817165.3

    申请日:2000-12-06

    IPC分类号: G01F1/698

    摘要: 一种热式流量计,具有将发热体、流量检测用感温体和向流体流路(3)内延伸的流量检测用导电性翅片板(44)以相互间能进行热传导的方式配置、对应流体在流体流路内的流动、流量检测用感温体的电气特性值发生变化的流量检测单元(4);和将流体温度检测用感温体和向流体流路内延伸的流体温度检测用导电性翅片板(44′)以相互向能进行热传导的方式配置、对应流体温度、流体温度检测用感温体的电气特性值发生变化的流体温度检测单元(6)。根据流量检测用和流体温度检测用的感温体的电气特性值来检测流体流量,并以测定翅片板(44)(44′)之间的导电性来进行流体判别。以简单的结构来判别流体是否是所需要的流体以避免错误的流体流通。