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公开(公告)号:CN101359215A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200810129467.0
申请日:2008-07-31
申请人: 佳能株式会社
发明人: 松原功
IPC分类号: G03H1/08 , G03F7/20 , G02B27/00 , H01L21/027
CPC分类号: G03H1/08 , G02B5/32 , G03F7/70108 , G03F7/70566 , G03H1/0244 , G03H1/0272 , G03H1/0891 , G03H1/2249 , G03H2001/0495 , G03H2001/2276 , G03H2210/20 , G03H2222/31 , G03H2223/20 , G03H2240/24 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/43 , G03H2260/63 , G03H2270/52
摘要: 本发明公开了一种计算机生成的全息图元件、曝光设备以及器件制造方法。本发明提供一种计算机生成的全息图元件,其通过向入射光的波阵面给出相位分布而在预定平面上形成光强分布,所述计算机生成的全息图元件包括:各向异性层,该各向异性层相对于第一方向上的线性偏振光的折射率不同于该各向异性层相对于第二方向上的线性偏振光的折射率,其中,第二方向上的线性偏振光与第一方向上的线性偏振光垂直,以及各向同性层,该各向同性层相对于第一方向上的线性偏振光的折射率等于该各向同性层相对于第二方向上的线性偏振光的折射率。
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公开(公告)号:CN100595698C
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200610154084.X
申请日:2004-12-15
申请人: 剑桥企业有限公司
CPC分类号: G03H1/2645 , G03H1/0808 , G03H1/0841 , G03H1/2205 , G03H1/2249 , G03H1/2286 , G03H1/2294 , G03H2001/0816 , G03H2001/085 , G03H2001/2215 , G03H2001/2218 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2001/2271 , G03H2001/2297 , G03H2001/261 , G03H2001/306 , G03H2210/20 , G03H2210/30 , G03H2210/40 , G03H2210/454 , G03H2222/35 , G03H2223/13 , G03H2223/55 , G03H2225/25 , G03H2225/31 , G03H2225/32 , G03H2225/52 , G03H2225/55 , G03H2225/60 , G03H2225/61 , G03H2226/02 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/51
摘要: 一种显示视频图像的方法,该方法包括接收连续图像帧至处理器的步骤。处理各图像帧以获得相息图。诸如SLM(206)之类的可编程衍射元件再现相息图序列,以允许使用合适的照明光束(200,202)进行图像再现(208)。
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公开(公告)号:CN103136737B
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201210497155.1
申请日:2012-11-28
申请人: 原子能与替代能源委员会
发明人: 克里斯托夫·马丁内斯
IPC分类号: G06T5/50
CPC分类号: G03H1/0841 , G03H1/0011 , G03H2001/0016 , G03H2001/0816 , G03H2001/0858 , G03H2240/41 , G03H2260/63
摘要: 本发明涉及一种用于将合成全息图合并于半色调图像中的方法。一种用于将合成全息图合并于场景图像中的方法,所述方法包括以下步骤:从所述场景的第一图像形成第一矩阵和第二矩阵,所述第一矩阵包括根据所述第一图像的对应像素的灰度级的两个色调的像素,所述第二矩阵的各个元素包括所述第一图像的对应像素和所述第一矩阵的对应像素之间的灰度级差值的值;基于第二图像形成第三矩阵;形成第四矩阵,所述第四矩阵具有均包括中心区域的像素,所述中心区域具有由所述第二矩阵的对应元素确定的且根据所述第三矩阵的对应像素在像素中偏离中心的表面区域;以及根据由所述第四像素矩阵定义的图案在板的表面上进行不透明层的光刻。
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公开(公告)号:CN1918519B
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN200480041744.2
申请日:2004-12-15
申请人: 剑桥企业有限公司
CPC分类号: G03H1/2645 , G03H1/0808 , G03H1/0841 , G03H1/2205 , G03H1/2249 , G03H1/2286 , G03H1/2294 , G03H2001/0816 , G03H2001/085 , G03H2001/2215 , G03H2001/2218 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2001/2271 , G03H2001/2297 , G03H2001/261 , G03H2001/306 , G03H2210/20 , G03H2210/30 , G03H2210/40 , G03H2210/454 , G03H2222/35 , G03H2223/13 , G03H2223/55 , G03H2225/25 , G03H2225/31 , G03H2225/32 , G03H2225/52 , G03H2225/55 , G03H2225/60 , G03H2225/61 , G03H2226/02 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/51
摘要: 一种显示视频图像的方法,该方法包括接收连续图像帧至处理器的步骤。处理各图像帧以获得相息图。诸如SLM(206)之类的可编程衍射元件再现相息图序列,以允许使用合适的照明光束(200,202)进行图像再现(208)。
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公开(公告)号:CN101034279A
公开(公告)日:2007-09-12
申请号:CN200610154084.X
申请日:2004-12-15
申请人: 剑桥大学技术服务有限公司
CPC分类号: G03H1/2645 , G03H1/0808 , G03H1/0841 , G03H1/2205 , G03H1/2249 , G03H1/2286 , G03H1/2294 , G03H2001/0816 , G03H2001/085 , G03H2001/2215 , G03H2001/2218 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2001/2271 , G03H2001/2297 , G03H2001/261 , G03H2001/306 , G03H2210/20 , G03H2210/30 , G03H2210/40 , G03H2210/454 , G03H2222/35 , G03H2223/13 , G03H2223/55 , G03H2225/25 , G03H2225/31 , G03H2225/32 , G03H2225/52 , G03H2225/55 , G03H2225/60 , G03H2225/61 , G03H2226/02 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/51
摘要: 一种显示视频图像的方法,该方法包括接收连续图像帧至处理器的步骤。处理各图像帧以获得相息图。诸如SLM(206)之类的可编程衍射元件再现相息图序列,以允许使用合适的照明光束(200,202)进行图像再现(208)。
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公开(公告)号:CN1918519A
公开(公告)日:2007-02-21
申请号:CN200480041744.2
申请日:2004-12-15
申请人: 剑桥大学技术服务有限公司
CPC分类号: G03H1/2645 , G03H1/0808 , G03H1/0841 , G03H1/2205 , G03H1/2249 , G03H1/2286 , G03H1/2294 , G03H2001/0816 , G03H2001/085 , G03H2001/2215 , G03H2001/2218 , G03H2001/2231 , G03H2001/2255 , G03H2001/2271 , G03H2001/2297 , G03H2001/261 , G03H2001/306 , G03H2210/20 , G03H2210/30 , G03H2210/40 , G03H2210/454 , G03H2222/35 , G03H2223/13 , G03H2223/55 , G03H2225/25 , G03H2225/31 , G03H2225/32 , G03H2225/52 , G03H2225/55 , G03H2225/60 , G03H2225/61 , G03H2226/02 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/51
摘要: 一种显示视频图像的方法,该方法包括接收连续图像帧至处理器的步骤。处理各图像帧以获得相息图。诸如SLM(206)之类的可编程衍射元件再现相息图序列,以允许使用合适的照明光束(200,202)进行图像再现(208)。
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公开(公告)号:CN103136737A
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN201210497155.1
申请日:2012-11-28
申请人: 原子能与替代能源委员会
发明人: 克里斯托夫·马丁内斯
IPC分类号: G06T5/50
CPC分类号: G03H1/0841 , G03H1/0011 , G03H2001/0016 , G03H2001/0816 , G03H2001/0858 , G03H2240/41 , G03H2260/63
摘要: 本发明涉及一种用于将合成全息图合并于半色调图像中的方法。一种用于将合成全息图合并于场景图像中的方法,所述方法包括以下步骤:从所述场景的第一图像形成第一矩阵和第二矩阵,所述第一矩阵包括根据所述第一图像的对应像素的灰度级的两个色调的像素,所述第二矩阵的各个元素包括所述第一图像的对应像素和所述第一矩阵的对应像素之间的灰度级差值的值;基于第二图像形成第三矩阵;形成第四矩阵,所述第四矩阵具有均包括中心区域的像素,所述中心区域具有由所述第二矩阵的对应元素确定的且根据所述第三矩阵的对应像素在像素中偏离中心的表面区域;以及根据由所述第四像素矩阵定义的图案在板的表面上进行不透明层的光刻。
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公开(公告)号:CN101359215B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200810129467.0
申请日:2008-07-31
申请人: 佳能株式会社
发明人: 松原功
IPC分类号: G03H1/08 , G03F7/20 , G02B27/00 , H01L21/027
CPC分类号: G03H1/08 , G02B5/32 , G03F7/70108 , G03F7/70566 , G03H1/0244 , G03H1/0272 , G03H1/0891 , G03H1/2249 , G03H2001/0495 , G03H2001/2276 , G03H2210/20 , G03H2222/31 , G03H2223/20 , G03H2240/24 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/43 , G03H2260/63 , G03H2270/52
摘要: 本发明公开了一种计算机生成的全息图元件、曝光设备以及器件制造方法。本发明提供一种计算机生成的全息图元件,其通过向入射光的波阵面给出相位分布而在预定平面上形成光强分布,所述计算机生成的全息图元件包括:各向异性层,该各向异性层相对于第一方向上的线性偏振光的折射率不同于该各向异性层相对于第二方向上的线性偏振光的折射率,其中,第二方向上的线性偏振光与第一方向上的线性偏振光垂直,以及各向同性层,该各向同性层相对于第一方向上的线性偏振光的折射率等于该各向同性层相对于第二方向上的线性偏振光的折射率。
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公开(公告)号:CN101842752A
公开(公告)日:2010-09-22
申请号:CN200880114369.8
申请日:2008-10-27
申请人: 蓝光光学有限公司
发明人: 阿德里安·詹姆斯·卡贝尔 , 保罗·劳特利
IPC分类号: G03H1/22 , G02F1/1335 , G02F1/1343
CPC分类号: G03H1/02 , G02F1/133553 , G02F1/134309 , G02F2201/128 , G03H1/2294 , G03H2001/0224 , G03H2001/0825 , G03H2210/441 , G03H2223/13 , G03H2223/18 , G03H2223/19 , G03H2225/32 , G03H2225/55 , G03H2240/41 , G03H2240/42 , G03H2240/61 , H04N9/3161 , H04N9/3173
摘要: 本发明涉及以全息方式显示图像的方法和设备。一种使用空间光调制器(SLM)来以全息方式显示图像的方法,所述SLM具有多个SLM像素,所述方法包括:在所述SLM的所述像素上显示衍射图案;以及照射所述SLM的所述像素,使得所述SLM像素上由所述衍射图案衍射的光包括所述显示图像的内容,通过各个所述像素的衍射图案所确定的强度包络对所述显示图像上所述显示图像的亮度变化进行调制;其中,所述方法还包括:通过在所述SLM像素上施加相位延迟图案,以远离零阶斑并移向所述显示图像的中心的方式来移动强度包络的峰或重心,所述相位延迟图案按照与所述SLM的像素间隔相对应的空间间隔进行重复。
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