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公开(公告)号:CN1675603A
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN03819602.6
申请日:2003-08-14
申请人: 东京毅力科创株式会社
发明人: 梅里特·芬克
IPC分类号: G05B19/418
CPC分类号: G05B15/02 , G05B19/41865 , G05B19/41875 , G05B23/0224 , G05B2219/32128 , G05B2219/33054 , G05B2219/33055 , G05B2219/35504 , G05B2219/36284 , G05B2219/42001 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
摘要: 一种用于在半导体处理环境中管理数据的方法。在处理期间采集原始数据。还接收跟踪文件数据和处理日志文件数据。将原始数据与跟踪文件数据和处理日志文件数据同步以创建晶片数据,从原始数据中计算汇总数据,并创建包含晶片数据和汇总数据的文件。
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公开(公告)号:CN100380262C
公开(公告)日:2008-04-09
申请号:CN03819602.6
申请日:2003-08-14
申请人: 东京毅力科创株式会社
发明人: 梅里特·芬克
IPC分类号: G05B19/418
CPC分类号: G05B15/02 , G05B19/41865 , G05B19/41875 , G05B23/0224 , G05B2219/32128 , G05B2219/33054 , G05B2219/33055 , G05B2219/35504 , G05B2219/36284 , G05B2219/42001 , Y02P90/14 , Y02P90/20 , Y02P90/22 , Y02P90/86
摘要: 一种用于在半导体处理环境中管理数据的方法。在处理期间采集原始数据。还接收跟踪文件数据和处理日志文件数据。将原始数据与跟踪文件数据和处理日志文件数据同步以创建晶片数据,从原始数据中计算汇总数据,并创建包含晶片数据和汇总数据的文件。
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