公开(公告)号：CN104040681A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280065644.8

申请日：2012-03-06

申请人： 维技盛达有限公司

发明人： 比约恩·万贝里

IPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/227 ,  H01J37/05 ,  H01J49/00

CPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  H01J37/05 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/06 ,  H01J49/061 ,  H01J49/484 ,  H01J2237/0535

摘要： 本发明涉及一种用于确定与从粒子发出样本(11)发出的带电粒子相关的至少一个参数的方法，例如，涉及粒子的能量、起始方向、起始位置或转速的参数。该方法包括以下步骤：通过透镜系统(13)，将带电粒子束引导至测量区域的入口中，并检测粒子在测量区域内的位置，其表示所述至少一个参数。此外，该方法包括以下步骤：在粒子束进入测量区域之前，使粒子束在相同的坐标方向上至少偏转两次。从而，能以这样的方式控制粒子束在测量区域(3)的入口(8)处的位置和方向，使得，一定程度上消除对样本(11)的物理操纵的需求。接着，这允许有效地冷却样本，使得能改进能量测量中的能量分辨率。

公开(公告)号：CN104040681B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201280065644.8

申请日：2012-03-06

申请人： 盛达欧米科有限公司

发明人： 比约恩·万贝里

IPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/227 ,  H01J37/05 ,  H01J49/00

CPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  H01J37/05 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/06 ,  H01J49/061 ,  H01J49/484 ,  H01J2237/0535

摘要： 本发明涉及一种用于确定与从粒子发出样本(11)发出的带电粒子相关的至少一个参数的方法，例如，涉及粒子的能量、起始方向、起始位置或转速的参数。该方法包括以下步骤：通过透镜系统(13)，将带电粒子束引导至测量区域的入口中，并检测粒子在测量区域内的位置，其表示所述至少一个参数。此外，该方法包括以下步骤：在粒子束进入测量区域之前，使粒子束在相同的坐标方向上至少偏转两次。从而，能以这样的方式控制粒子束在测量区域(3)的入口(8)处的位置和方向，使得，一定程度上消除对样本(11)的物理操纵的需求。接着，这允许有效地冷却样本，使得能改进能量测量中的能量分辨率。