公开(公告)号：CN104040681B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201280065644.8

申请日：2012-03-06

申请人： 盛达欧米科有限公司

发明人： 比约恩·万贝里

IPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/227 ,  H01J37/05 ,  H01J49/00

CPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  H01J37/05 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/06 ,  H01J49/061 ,  H01J49/484 ,  H01J2237/0535

摘要： 本发明涉及一种用于确定与从粒子发出样本(11)发出的带电粒子相关的至少一个参数的方法，例如，涉及粒子的能量、起始方向、起始位置或转速的参数。该方法包括以下步骤：通过透镜系统(13)，将带电粒子束引导至测量区域的入口中，并检测粒子在测量区域内的位置，其表示所述至少一个参数。此外，该方法包括以下步骤：在粒子束进入测量区域之前，使粒子束在相同的坐标方向上至少偏转两次。从而，能以这样的方式控制粒子束在测量区域(3)的入口(8)处的位置和方向，使得，一定程度上消除对样本(11)的物理操纵的需求。接着，这允许有效地冷却样本，使得能改进能量测量中的能量分辨率。

公开(公告)号：CN102549704B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201080043248.6

申请日：2010-08-31

申请人： 迪特马尔·丰内曼

发明人： 迪特马尔·丰内曼

IPC分类号： H01J37/05

CPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/24485

摘要： 本发明涉及带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面的环状能量分析器，优选地具有半球状分析器。为了提供影像能量过滤器以及具有这样的影像能量过滤器的分光计，其具有更高水平的位置和角度分辨率，且可以更大的接受角度操作，根据本发明提出：提供用于带电粒子的镜子部件，且其被如此设置以使通过出口平面离开环状能量分析器的带电粒子由该镜子部件被反射回该环状能量分析器，从而该带电粒子又一次在相反进行方向穿过环状能量分析器。

公开(公告)号：CN102549704A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080043248.6

申请日：2010-08-31

申请人： 迪特马尔·丰内曼

发明人： 迪特马尔·丰内曼

IPC分类号： H01J37/05

CPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/24485

摘要： 本发明涉及带电粒子影像能量过滤器，其具有带入口平面和出口平面的环状能量分析器，优选地具有半球状分析器。为了提供影像能量过滤器以及具有这样的影像能量过滤器的分光计，其具有更高水平的位置和角度分辨率，且可以更大的接受角度操作，根据本发明提出：提供用于带电粒子的镜子部件，且其被如此设置以使通过出口平面离开环状能量分析器的带电粒子由该镜子部件被反射回该环状能量分析器，从而该带电粒子又一次在相反进行方向穿过环状能量分析器。

公开(公告)号：CN102484027A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080033732.0

申请日：2010-07-16

申请人： 克拉-坦科股份有限公司

发明人： 卡沙伊·沙德曼 ,  罗伯特·海恩斯 ,  伽柏·D·托特 ,  克里斯多佛·西尔斯 ,  迈赫兰·纳塞尔古德西

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J49/486 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485

摘要： 一个实施例涉及带电粒子能量分析器装置。第一网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且第一电极被安排成在第一网的第二侧和第一电极之间形成第一腔。第二网被安排成接收第二侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第一侧，并且第二电极被安排成在第二网的第一侧和第二电极之间形成第二腔。最后，第三网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且位置敏感带电粒子检测器被安排成在带电粒子穿过第三网之后接收带电粒子。

公开(公告)号：CN101176185A

公开(公告)日：2008-05-07

申请号：CN200680015710.5

申请日：2006-05-10

申请人： 埃美格科学仪器公司

发明人： 彼得·帕纳伊

IPC分类号： H01J49/40

CPC分类号： H01J37/05 ,  B82Y15/00 ,  H01J49/405 ,  H01J2237/0535

摘要： 一种用于在飞行时间质谱仪中偏转来自样本的离子的反射器(1)包括前电极(2)和后电极(3)。前后电极(2、3)中的至少一个能够生成弯曲的电场。前后电极被配置以进行时间聚焦并解析样本的图像。

公开(公告)号：CN103038856B

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201180039297.7

申请日：2011-08-10

申请人： FEI公司

发明人： E.克尼德勒 ,  J.H.奥尔洛夫

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/0535

摘要： 公开了一种用于成像和处理目标的带电粒子束系统，包括带电粒子柱、二次粒子检测器、以及位于目标和检测器之间的二次粒子检测栅极组件。在一个实施例中，栅极组件包括多个栅极，每个具有独立偏压，其中，目标和栅极之间的电场可使用栅极电压调节以优化到达检测器的二次粒子的空间分布。由于检测器寿命由检测器上的接收最大剂量的区域处积聚的总剂量确定，通过使得进入检测器的剂量空间上更一致，可增加检测器寿命。具有径向电压梯度的单个电阻栅极组件可取代独立栅极。多个偏转电极可位于目标和栅极之间以增强电场的成形。

公开(公告)号：CN104040681A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280065644.8

申请日：2012-03-06

申请人： 维技盛达有限公司

发明人： 比约恩·万贝里

IPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/227 ,  H01J37/05 ,  H01J49/00

CPC分类号： H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  H01J37/05 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/06 ,  H01J49/061 ,  H01J49/484 ,  H01J2237/0535

摘要： 本发明涉及一种用于确定与从粒子发出样本(11)发出的带电粒子相关的至少一个参数的方法，例如，涉及粒子的能量、起始方向、起始位置或转速的参数。该方法包括以下步骤：通过透镜系统(13)，将带电粒子束引导至测量区域的入口中，并检测粒子在测量区域内的位置，其表示所述至少一个参数。此外，该方法包括以下步骤：在粒子束进入测量区域之前，使粒子束在相同的坐标方向上至少偏转两次。从而，能以这样的方式控制粒子束在测量区域(3)的入口(8)处的位置和方向，使得，一定程度上消除对样本(11)的物理操纵的需求。接着，这允许有效地冷却样本，使得能改进能量测量中的能量分辨率。

公开(公告)号：CN103038856A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180039297.7

申请日：2011-08-10

申请人： FEI公司

发明人： E.克尼德勒 ,  J.H.奥尔洛夫

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/0535

摘要： 公开了一种用于成像和处理目标的带电粒子束系统，包括带电粒子柱、二次粒子检测器、以及位于目标和检测器之间的二次粒子检测栅极组件。在一个实施例中，栅极组件包括多个栅极，每个具有独立偏压，其中，目标和栅极之间的电场可使用栅极电压调节以优化到达检测器的二次粒子的空间分布。由于检测器寿命由检测器上的接收最大剂量的区域处积聚的总剂量确定，通过使得进入检测器的剂量空间上更一致，可增加检测器寿命。具有径向电压梯度的单个电阻栅极组件可取代独立栅极。多个偏转电极可位于目标和栅极之间以增强电场的成形。