弹性波元件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105393455B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201480033294.6

    申请日:2014-06-26

    Abstract: 本发明提供弹性波元件,其通过使用加入有不同于以往的欧拉旋转角的旋转Y切型石英基板,可获得具有最适于高频振荡的规定相位速度且3次曲线良好的温度特性。本发明的弹性波元件11包括:石英基板12,从具有由X轴、Y轴及Z轴构成的三维晶体取向的石英体中以使Y轴及Z轴绕X轴旋转的方式切出,以由右手系欧拉角(φ,θ,Ψ)规定的旋转角切割而成;以及形成在该石英基板12的表面的、激励板波的至少1个激励电极13;所述石英基板12是在旋转角为φ=0±10°、θ=110°~140°、Ψ=30~50°的范围内进行切割,并且选择在25℃下进行泰勒展开时的1次温度系数α×10‑6处于‑1.0<α<+1.0的范围内、2次温度系数β×10‑8处于‑1.0<β<+1.0的范围内的板波作为振动模式。

    声表面波装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101584115B

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200780047929.8

    申请日:2007-12-13

    Inventor: 门田道雄

    CPC classification number: H03H9/145 H03H9/02551 H03H9/02574 H03H9/02834

    Abstract: 本发明得到一种不易产生温度变化带来的特性的变动、每一根IDT电极指的反射系数高、窄频带化容易的声表面波装置。声表面波装置(1)的构成为:在由欧拉角为(0°±5°,0°~140°,0°±40°)的水晶构成的压电基板(2)上形成有IDT电极(3),以覆盖IDT电极(3)的方式形成有由沿c轴取向的ZnO构成的压电膜(4),在压电膜(4)的表面形成有与IDT电极(3)的厚度对应的凸部,并利用瑞利波作为声表面波,所述IDT电极由以Al、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni或Mo为主体的金属材料构成,当设定声表面波的波长λ时,在IDT电极中作为主体的金属、IDT电极的按照声表面波的波长标准化后的标准化膜厚、压电膜的按照声表面波的波长标准化后的标准化膜厚被设定在下述的表1所示的各组合的范围内。[表1]。作为IDT电极的主体的金属 IDT电极标准化膜厚 ZnO标准化膜厚Al 0.02≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3Au 0.005≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3Ta 0.005≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3W 0.005≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3Pt 0.005≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3Cu 0.02≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3Ni 0.02≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3Mo 0.01≤h/λ≤0.2 0.03≤h/λ≤0.3

    声表面波装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101584115A

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200780047929.8

    申请日:2007-12-13

    Inventor: 门田道雄

    CPC classification number: H03H9/145 H03H9/02551 H03H9/02574 H03H9/02834

    Abstract: 本发明得到一种不易产生温度变化带来的特性的变动、每一根IDT电极指的反射系数高、窄频带化容易的声表面波装置。声表面波装置(1)的构成为:在由欧拉角为(0°±5°,0°~140°,0°±40°)的水晶构成的压电基板(2)上形成有IDT电极(3),以覆盖IDT电极(3)的方式形成有由沿c轴取向的ZnO构成的压电膜(4),在压电膜(4)的表面形成有与IDT电极(3)的厚度对应的凸部,并利用瑞利波作为声表面波,所述IDT电极由以Al、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni或Mo为主体的金属材料构成,当设定声表面波的波长λ时,在IDT电极中作为主体的金属、IDT电极的按照声表面波的波长标准化后的标准化膜厚、压电膜的按照声表面波的波长标准化后的标准化膜厚被设定在下述的表1所示的各组合的范围内。(表1见图下)。

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