流体混合装置及切削装置

    公开(公告)号:CN100364721C

    公开(公告)日:2008-01-30

    申请号:CN03804624.5

    申请日:2003-02-06

    发明人: 吉田干

    IPC分类号: B24B55/02 B01F3/04 H01L21/304

    摘要: 在使用加工水的加工中,通过提供以下流体混合装置30,可以用经济的方法将加工水的比电阻值高精度地设置在所要求的值,该流体混合装置30包括第一流体供给路34、第二流体供给路43以及混合部41,第一流体供给路34供给第一流体,第二流体路供给43第二流体,混合部41生成混合第一流体和第二流体的混合流体,该第一流体供给路34通过流量比调整部36分支成第一经路37和第二经路38,该第二经路38在分支部39分支出流量比率被事先设定的第三经路40,该第三经路40与混合部41连接,在该混合部41上连接有第二流体供给路43和第四经路44,在该混合部41上,将从该第三经路40流入的第一流体与从该第二流体供给路43流入的第二流体混合、将生成的混合流体向该第四经路44流出,该第四经路44在第二经路38上的该分支部39的下游侧合流,第二经路38与该第一经路37合流。