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    流路切换装置、处理装置、流路切换方法、处理方法
    5.
    发明授权
    流路切换装置、处理装置、流路切换方法、处理方法 有权

    公开(公告)号：CN102315142B

    公开(公告)日：2015-03-18

    申请号：CN201110168465.4

    申请日：2011-06-17

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 绪方信博 ,  长峰秀一 ,  清田健司

    IPC分类号： H01L21/67

    CPC分类号： H01L21/67028 ,  H01L21/67173 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/87684 ,  Y10T137/87877

    摘要： 本发明提供一种流路切换装置、处理装置、流路切换方法、处理方法，该流路切换装置能够削减用于切换流路的驱动机构的个数，该处理装置是能够削减用于切换处理被处理体的处理流体的专用排出通路的驱动机构的个数的液体处理装置。从对晶圆在互不相同的时刻供给多种处理流体并进行处理的液体处理单元(3)经由排气通路(35)、流路切换部(5)向多个专用排出通路(连接用流路)排出该液体处理单元的气体。上述流路切换部具有外筒(51)和设置在外筒内部的旋转筒(53)，上述旋转筒的3个开口部配置为在旋转该旋转筒的期间、相互对应的外筒的3个连接口与旋转筒的开口部的组之一重合连通且其他组不连通的状态在各个组之间依次产生。

    用于生物制药学用途容器的选择性操作阀
    6.
    发明公开
    用于生物制药学用途容器的选择性操作阀 有权

    公开(公告)号：CN103732959A

    公开(公告)日：2014-04-16

    申请号：CN201280040191.3

    申请日：2012-07-12

    申请人： 赛多利斯斯泰迪FMT股份有限公司

    发明人： F·布莱克 ,  J·吉布兰

    IPC分类号： F16K3/26 ,  B65D47/28 ,  B65D47/24 ,  B65D75/58

    CPC分类号： F16K3/262 ,  B65D47/00 ,  B65D47/261 ,  F16K3/265 ,  Y10T137/87877

    摘要： 一种用于生物制药学用途的容器的选择性操作阀。所述阀包括凹形件（3），其具有封闭的横向近端壁和与凸缘部分（8）一体的管状壁，侧向阀开口（9）形成在管状壁的近段上，还包括凸形件（4），其具有管状壁，所述管状壁在近侧形成具有敞开的横向近端的关闭/打开部分（15a），所述关闭/打开部分（15a）的外部形状和外部尺寸适配所述凹形件（3）的近侧接纳部（10）的内部形状和内部尺寸；密封装置包括在轴向方向上彼此隔开的三个环密封件，它们由凸形件（4）的管状壁的上表面支撑并且与凹形件协同，包括用于流体产物的近侧密封件（20），其被与关闭/打开部分（15a）相关联，用于外部污染源的远侧密封件（21），其距近侧密封件（20）最远，和用于流体产物和外部污染源的中间密封件（22），其位于近侧密封件（20）和远侧密封件（21）之间。

    蒸汽阀设备以及蒸汽轮机装置
    7.
    发明公开
    蒸汽阀设备以及蒸汽轮机装置 有权

    公开(公告)号：CN102691528A

    公开(公告)日：2012-09-26

    申请号：CN201210080555.2

    申请日：2012-03-23

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 竹丸龙平 ,  进藤藏 ,  远藤寿彦

    IPC分类号： F01D17/10

    CPC分类号： F01D17/145 ,  F01D9/047 ,  F01D17/18 ,  F05D2210/40 ,  F05D2220/31 ,  F05D2250/324 ,  F05D2250/71 ,  Y10T137/87121 ,  Y10T137/87877 ,  Y10T137/87917

    摘要： 一种蒸汽阀设备以及蒸汽轮机装置。在本发明的实施例中，一种蒸汽阀设备(90)具有蒸汽调节阀(21)、以及连接主蒸汽截止阀(1)和蒸汽调节阀(21)的中间流路(80)。主蒸汽截止阀包括(1)和蒸汽调节阀(21)分别具有：外壳(31，41)，其中流路(61，71)形成于向下开口的水平入口端口(33，43)和出口端口(34，44)之间，并且阀座(35，45)布置于流路(61，71)中；阀元件(32，42)，其可在外壳(31，41)中上下移动；以及用于驱动阀元件(32，42)的阀杆(37，47)。阀杆(37，47)向上延伸，并且在打开流路时它们在朝着外壳(31，41)外侧的方向上被向上拉离。中间流路(80)将从主蒸汽截止阀(1)的出口端口(34)流出的主蒸汽的流向从向下方向改变为水平方向，以将主蒸汽朝着蒸汽调节阀(21，22)的出口端口(44)导向。

    流路切换装置、处理装置、流路切换方法、处理方法
    9.
    发明公开
    流路切换装置、处理装置、流路切换方法、处理方法 有权

    公开(公告)号：CN102315142A

    公开(公告)日：2012-01-11

    申请号：CN201110168465.4

    申请日：2011-06-17

    申请人： 东京毅力科创株式会社

    发明人： 绪方信博 ,  长峰秀一 ,  清田健司

    IPC分类号： H01L21/67

    CPC分类号： H01L21/67028 ,  H01L21/67173 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/87684 ,  Y10T137/87877

    摘要： 本发明提供一种流路切换装置、处理装置、流路切换方法、处理方法，该流路切换装置能够削减用于切换流路的驱动机构的个数，该处理装置是能够削减用于切换处理被处理体的处理流体的专用排出通路的驱动机构的个数的液体处理装置。从对晶圆在互不相同的时刻供给多种处理流体并进行处理的液体处理单元(3)经由排气通路(35)、流路切换部(5)向多个专用排出通路(连接用流路)排出该液体处理单元的气体。上述流路切换部具有外筒(51)和设置在外筒内部的旋转筒(53)，上述旋转筒的3个开口部配置为在旋转该旋转筒的期间、相互对应的外筒的3个连接口与旋转筒的开口部的组之一重合连通且其他组不连通的状态在各个组之间依次产生。