-
公开(公告)号：CN1675518A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03819426.0
申请日：2003-08-12
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 维贾雅库马尔·C·韦努戈帕尔
CPC分类号： G01B11/0683 , G01B11/0616 , G01B11/0625 , H01L27/1087 , H01L29/66181
摘要： 一种在图样化衬底的处理过程中确定感兴趣的参数的方法，该方法包括：获得测量的净反射光谱，该反射光谱通过用具有宽带光谱的光束照射图样化衬底的至少一部分产生；计算建模的净反射光谱，作为构成图样化衬底的部分的不同区域的反射系数的加权非相干和；以及，确定一组参数，该组参数提供在测量的净反射光谱和建模的净反射光谱之间的紧密匹配。对于在选择的转换波长以下的波长，第一光学模型用于计算每个区域的反射率，作为对应于构成该区域的横向不同区的薄膜叠层的反射场。对于在选择的转换波长以上的波长，基于有效介质近似的第二光学模型用于计算每个区域的反射率。
-
公开(公告)号：CN100370221C
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN03819426.0
申请日：2003-08-12
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 维贾雅库马尔·C·韦努戈帕尔
CPC分类号： G01B11/0683 , G01B11/0616 , G01B11/0625 , H01L27/1087 , H01L29/66181
摘要： 一种在图样化衬底的处理过程中确定感兴趣的参数的方法，该方法包括：获得测量的净反射光谱，该反射光谱通过用具有宽带光谱的光束照射图样化衬底的至少一部分产生；计算建模的净反射光谱，作为构成图样化衬底的部分的不同区域的反射系数的加权非相干和；以及，确定一组参数，该组参数提供在测量的净反射光谱和建模的净反射光谱之间的紧密匹配。对于在选择的转换波长以下的波长，第一光学模型用于计算每个区域的反射率，作为对应于构成该区域的横向不同区的薄膜叠层的反射场。对于在选择的转换波长以上的波长，基于有效介质近似的第二光学模型用于计算每个区域的反射率。
-
公开(公告)号：CN101221917A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810000091.3
申请日：2003-08-12
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 维贾雅库马尔·C·韦努戈帕尔
CPC分类号： G01B11/0683 , G01B11/0616 , G01B11/0625 , H01L27/1087 , H01L29/66181
摘要： 提供了一种使用宽带反射测定法的工艺终点检测方法，用于在图样化衬底的加工过程中确定图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸，该方法包括：获得测量的净反射光谱，测量的净反射光谱由具有宽带光谱的光束至少照射图样化衬底的一部分产生；计算作为不同区域的反射率的加权非相干和的建模的净反射光谱，不同区域构成图样化衬底的一部分；对于宽带光谱中小于所选择的转换波长的波长，使用第一光学模型计算每个区域的反射率，将反射率作为薄膜叠层的反射场的加权相干和，薄膜叠层对应于构成区域的横向不同区；确定用于提供测量的净反射光谱和建模的净反射光谱之间的紧密匹配的一组参数；以及从一组参数提取图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸。
-
公开(公告)号：CN100595899C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200810000091.3
申请日：2003-08-12
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 维贾雅库马尔·C·韦努戈帕尔
CPC分类号： G01B11/0683 , G01B11/0616 , G01B11/0625 , H01L27/1087 , H01L29/66181
摘要： 提供了一种使用宽带反射测定法的工艺终点检测方法，用于在图样化衬底的加工过程中确定图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸，该方法包括：获得测量的净反射光谱，测量的净反射光谱由具有宽带光谱的光束至少照射图样化衬底的一部分产生；计算作为不同区域的反射率的加权非相干和的建模的净反射光谱，不同区域构成图样化衬底的一部分；对于宽带光谱中小于所选择的转换波长的波长，使用第一光学模型计算每个区域的反射率，将反射率作为薄膜叠层的反射场的加权相干和，薄膜叠层对应于构成区域的横向不同区；确定用于提供测量的净反射光谱和建模的净反射光谱之间的紧密匹配的一组参数；以及从一组参数提取图样化衬底的一部分中的结构的垂直尺寸。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.011 秒)
