公开(公告)号：CN114127624A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080051468.7

申请日：2020-07-09

申请人： IMEC 非营利协会 ,  鲁汶天主教大学

发明人： A·德普罗弗特 ,  X·罗滕伯格 ,  K·洛德威克斯

IPC分类号： G02F1/0147

摘要： 根据本发明构思的一方面，提供了一种用于调制入射光(L)的光学器件(1)，其包括包含光学状态变化材料(112)的谐振限定层结构(110)以及包含至少两个间隔开的电极元件(121，122，123)的电极层(120)。电极元件是可单独寻址的并且被布置成引起光学状态变化材料的一部分在第一状态和第二状态之间的光学状态变化，其中该部分形成由所述至少两个间隔开的电极元件的布置来限定的几何结构(131，132，133，134，135，136)。光学状态变化材料被配置成在第一状态和第二状态之间的光学状态变化时更改光学器件的光学响应，从而确定入射光的调制。

公开(公告)号：CN114041082A

公开(公告)日：2022-02-11

申请号：CN202080047978.7

申请日：2020-07-06

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： H·萨贝特 ,  帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔

IPC分类号： G02F1/0147 ,  G03F7/00 ,  G02F1/383

摘要： 公开了一种用于提供光源的系统和方法。在一种布置中，所述光源包括：中空且具有轴向方向的光纤；填充所述光纤的中空部的气体；和设置在沿所述光纤的所述轴向方向的相应位置处的多个温度设定装置，其中所述温度设定装置被配置成控制所述气体的温度，以局部地控制所述气体的密度。