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    Capacitive transducer and method for manufacturing the same
    2.
    发明公开
    Capacitive transducer and method for manufacturing the same 审中-公开
    Kapazitiver Wandler und Verfahren zur Herstellung davon

    公开(公告)号：EP2840060A1

    公开(公告)日：2015-02-25

    申请号：EP14181851.8

    申请日：2014-08-21

    申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA

    发明人： Torashima, Kazutoshi ,  Akiyama, Takahiro ,  Hasegawa, Kenji ,  Kato, Kazuhiko

    IPC分类号： B81C1/00 ,  B06B1/02

    CPC分类号： A61B8/4494 ,  A61B5/0095 ,  B06B1/0292 ,  B81B2201/0271 ,  B81C1/00182 ,  H02N1/08

    摘要： A method for manufacturing a capacitive transducer is provided having a structure in which a vibrating film (29) is supported to be able to vibrate. The method includes forming a sacrificial layer (25) on a first electrode (23); forming a layer on the sacrificial layer, the layer forming at least part of the vibrating film; removing the sacrificial layer, including forming etching holes (31) to communicate with the sacrificial layer; forming a sealing layer (33) for sealing the etching holes; and etching at least part of the sealing layer. Before forming the sealing layer, an etching stop layer (30) is formed on the layer forming at least part of the vibrating film. In the step of etching at least part of the sealing layer, the sealing layer is removed until the etching stop layer is reached.

    摘要翻译： 提供一种用于制造电容换能器的方法，其具有支撑振动膜（29）以能够振动的结构。 该方法包括在第一电极（23）上形成牺牲层（25）。 在所述牺牲层上形成层，所述层形成所述振动膜的至少一部分; 去除所述牺牲层，包括形成与所述牺牲层连通的蚀刻孔（31）; 形成用于密封蚀刻孔的密封层（33）; 并蚀刻至少一部分密封层。 在形成密封层之前，在形成振动膜的至少一部分的层上形成蚀刻停止层（30）。 在蚀刻至少部分密封层的步骤中，去除密封层，直到达到蚀刻停止层。