Kryopumpe und Verfahren zum Betrieb dieser Kryopumpe
    11.
    发明公开
    Kryopumpe und Verfahren zum Betrieb dieser Kryopumpe 失效
    低温泵和操作这种低温泵方法。

    公开(公告)号:EP0250613A1

    公开(公告)日:1988-01-07

    申请号:EP86108529.8

    申请日:1986-06-23

    IPC分类号: F04B37/08

    CPC分类号: F04B37/08 Y10S417/901

    摘要: Die Erfindung betrifft eine Kryopumpe mit einem Gehäuse (1), mit einer Gaseintrittsöffnung (8), an welche über ein Ventil (31) ein Rezipient (30) anschließbar ist, mit einer an das Gehäuse über ein Ventil (16) ange­schlossenen Vakuumpumpe (18), mit einem im Gehäuse befindlichen zweistufigen Refrigerator (4) als Kältequelle und mit Pumpflächen (7, 9, 12, 13) an den beiden Kälte­stufen (5, 11) des Refrigerators, welche mit einer elektrischen Heizung (23, 24) ausgerüstet sind; um möglichst kurze und möglichst wirksame Regenerier- und Inbetriebnahmezeiten zu erzielen, wird vorgeschlagen, daß ein Sensor (41) zur Kontrolle des Druckes innerhalb des Pumpengehäuses (1) vorgesehen ist und daß eine Steuereinheit (28) vorhanden ist, mit der in Abhängigkeit der vom Sensor gelieferten Signale der Betrieb der Kryopumpe überwacht und gesteuert wird.

    摘要翻译: 本发明涉及一种具有壳体(1),具有气体入口开口(8)的低温泵,其经由阀(31),接收者(30)可以与通过阀连接到所述真空泵的壳体(16)被连接(18 ),(一个在壳体中的两个阶段冰箱4)配备作为冷源和在所述两个冷却阶段(5泵表面(7,9,12,13),11)的冷藏库,其(23有电加热器,24) ; 为了实现尽可能短和尽可能有效再生和启动时间,所​​以建议用于控制泵壳体内的压力(1)的传感器(41)被提供,并且控制单元(28)设有的功能 供给的传感器信号,被监测和控制的低温泵的操作。

    Mit einem Refrigerator betriebene Einrichtung
    14.
    发明公开
    Mit einem Refrigerator betriebene Einrichtung 失效
    Mit einem冰箱betriebene Einrichtung。

    公开(公告)号:EP0448738A1

    公开(公告)日:1991-10-02

    申请号:EP90105627.5

    申请日:1990-03-24

    发明人: Strasser, Wilhelm

    IPC分类号: F25B9/14 F25D19/00 F04B37/08

    CPC分类号: F25B9/14 F04B37/08 F25D19/006

    摘要: Die Erfindung bezieht sich auf eine mit einem Refrigerator (3) betriebene Einrichtung (1) mit einem die zu kühlenden Bauteile (6, 9) aufnehmenden Gehäuse (2), mit einem am Gehäuse (2) vorgesehenen Anschlußrohr (12), das mit dem Gehäuse (14) des Refrigerators (3) verbunden ist, mit einem sich durch das Refrigeratorgehäuse (14) und das Anschlußrohr (12) erstreckenden Kälteerzeuger (4, 5), der mindestens eine zylindrische Arbeitskammer und einen darin oszillierenden Verdränger (17, 18) umfaßt und der an seinem kalten Ende die im Gehäuse (2) befindlichen Bauteile (6, 9) trägt, sowie mit einer Dämpfungseinrichtung (23) zur Verhinderung der Übertragung der vom Refrigerator (3) erzeugten Vibrationen auf das Gehäuse (2); um eine einfache Ankopplung des Refrigeratorgehäuses (14) am Gehäuse (2) zu schaffen, welche Vibrationen nicht überträgt, wird vorgeschlagen, daß das am Gehäuse (2) vorgesehene Anschlußrohr (12) oder das sich daran anschließende Refrigeratorgehäuse (14) in Bezug auf die jeweilige Längsachse quergeteilt ist und daß die beiden durch die Querteilung entstandenen Abschnitte (21, 22) über einen Ring (23) aus gummieleastischem Material miteinander verbunden sind.

    摘要翻译: 本发明涉及一种与冰箱(3)一起工作的装置(1),壳体(2)容纳设置在壳体(2)上的要冷却的部件(6,9),连接管 12),其连接到冰箱(3)的壳体(14),其中冷却发生器(4,5)延伸穿过冷藏室(14)和连接管(12),包括至少一个圆柱形工作 并且在其中振荡其中的置换器(17,18),并且在其冷端处支撑位于壳体(2)中的部件(6,9)以及阻尼装置(23)以防止传递到壳体 2)由冰箱(3)产生的振动; 为了使冰箱壳体(14)与不传递振动的壳体(2)的简单联接,建议设置在壳体(2)或冰箱壳体(14)上的连接管(12) )相对于相应的纵向轴线横向分开,并且由横向分割产生的两个部分(21,22)通过由弹性体材料制成的环(23)相互连接。

    Verfahren und Untersuchung einer auf dem Kaltkopf eines Kryostaten befindlichen Probe und Einrichtung dazu
    16.
    发明公开
    Verfahren und Untersuchung einer auf dem Kaltkopf eines Kryostaten befindlichen Probe und Einrichtung dazu 失效
    方法与位于低温恒温器的冷头样品的检查,这样做的手段。

    公开(公告)号:EP0367028A2

    公开(公告)日:1990-05-09

    申请号:EP89119373.2

    申请日:1989-10-19

    IPC分类号: G01N1/28 F25B9/00

    摘要: Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Untersuchung einer auf dem Kaltkopf eines Kryostaten befindlichen Probe mit Hilfe einer Meßeinrichtung, wobei der Kryostat (1) mit einem Refrigerator (3) betrieben wird, dem Einrichtungen (20, 28) zur Steuerung der Bewegung seines oder seiner Verdränger (16, 17) sowie zur Steuerung der Versorgung des oder der Arbeitsräume (14, 15) mit Arbeitsgas zugeordnet sind; um Beeinträchtigungen von Messungen an oder mit der Probe durch Erschütterungen infolge der Verdrängerbewegungen zu vermeiden, wird vorgeschlagen, daß der der Untersuchung der Probe dienende Meßprozeß in Zeitinter­vallen durchgeführt wird, in denen sich der Verdränger im we­sentlichen in Ruhe oder in gleichförmiger Bewegung befindet.

    摘要翻译: 本发明涉及检查与测量装置的帮助下在低温恒温器的指形冷却件的样品的方法,所述低温恒温器(1)由一台冰箱操作(3),其中有分配装置(20,28),用于 控制其置换或置换器(16,17)的运动,以及用于控制该工作室的供应或正与工作气体腔室(14,15); 为了避免上或与样品由于振动作为置换移动的结果的测量的损害的情况下,提出并在测量过程中哪一个用于样品的检查是在时间间隔中进行,其中所述置换是本质上 静止或匀速运动。