摘要:
Die Erfindung betrifft eine Kryopumpe mit einem Gehäuse (1), mit einer Gaseintrittsöffnung (8), an welche über ein Ventil (31) ein Rezipient (30) anschließbar ist, mit einer an das Gehäuse über ein Ventil (16) angeschlossenen Vakuumpumpe (18), mit einem im Gehäuse befindlichen zweistufigen Refrigerator (4) als Kältequelle und mit Pumpflächen (7, 9, 12, 13) an den beiden Kältestufen (5, 11) des Refrigerators, welche mit einer elektrischen Heizung (23, 24) ausgerüstet sind; um möglichst kurze und möglichst wirksame Regenerier- und Inbetriebnahmezeiten zu erzielen, wird vorgeschlagen, daß ein Sensor (41) zur Kontrolle des Druckes innerhalb des Pumpengehäuses (1) vorgesehen ist und daß eine Steuereinheit (28) vorhanden ist, mit der in Abhängigkeit der vom Sensor gelieferten Signale der Betrieb der Kryopumpe überwacht und gesteuert wird.
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf eine mit einem Refrigerator (3) betriebene Einrichtung (1) mit einem die zu kühlenden Bauteile (6, 9) aufnehmenden Gehäuse (2), mit einem am Gehäuse (2) vorgesehenen Anschlußrohr (12), das mit dem Gehäuse (14) des Refrigerators (3) verbunden ist, mit einem sich durch das Refrigeratorgehäuse (14) und das Anschlußrohr (12) erstreckenden Kälteerzeuger (4, 5), der mindestens eine zylindrische Arbeitskammer und einen darin oszillierenden Verdränger (17, 18) umfaßt und der an seinem kalten Ende die im Gehäuse (2) befindlichen Bauteile (6, 9) trägt, sowie mit einer Dämpfungseinrichtung (23) zur Verhinderung der Übertragung der vom Refrigerator (3) erzeugten Vibrationen auf das Gehäuse (2); um eine einfache Ankopplung des Refrigeratorgehäuses (14) am Gehäuse (2) zu schaffen, welche Vibrationen nicht überträgt, wird vorgeschlagen, daß das am Gehäuse (2) vorgesehene Anschlußrohr (12) oder das sich daran anschließende Refrigeratorgehäuse (14) in Bezug auf die jeweilige Längsachse quergeteilt ist und daß die beiden durch die Querteilung entstandenen Abschnitte (21, 22) über einen Ring (23) aus gummieleastischem Material miteinander verbunden sind.
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Untersuchung einer auf dem Kaltkopf eines Kryostaten befindlichen Probe mit Hilfe einer Meßeinrichtung, wobei der Kryostat (1) mit einem Refrigerator (3) betrieben wird, dem Einrichtungen (20, 28) zur Steuerung der Bewegung seines oder seiner Verdränger (16, 17) sowie zur Steuerung der Versorgung des oder der Arbeitsräume (14, 15) mit Arbeitsgas zugeordnet sind; um Beeinträchtigungen von Messungen an oder mit der Probe durch Erschütterungen infolge der Verdrängerbewegungen zu vermeiden, wird vorgeschlagen, daß der der Untersuchung der Probe dienende Meßprozeß in Zeitintervallen durchgeführt wird, in denen sich der Verdränger im wesentlichen in Ruhe oder in gleichförmiger Bewegung befindet.
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines aus Kunststoff bestehenden Verdrängers (1) für den Kaltkopf eines Kryo-Refrigerators; die den Verdränger bildenden Teile (4, 5) werden aus einem Thermoplast durch Spritzen hergestellt.